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Properties and Diffusion Barrier Performance of MOCVD TiN Films
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1997 .01
Carrier gas$(N_2,\;He)$가 MOCVD TiN 형성에 미치는 영향에 관한 연구
한국재료학회지
1996 .01
MOCVD TiN FOR HIGH TEMPERATURE PROCESS
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
후공정 처리에 의한 MOCVD TiN 막질 개선
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
Effects of Post-Annealing on the Characteristics of MOCVD-Cu / TiN / Si Structures by the Rapid Thermal Process
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1997 .01
In-situ MOCVD Cu/MOCVD TiN 형성 공정에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
열처리에 따른 TiN Diffusion Barrier 에서의 Oxygen 거동에 관한 연구 ( Oxygen Behaviors During Heat Treatment of TiN Diffusion Barriers )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
Annealing and Post Heat Treatment Effects of Remote Plasma MOCVD Titanium Barrier Metals
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
O₃-MOCVD법에 의한 대면적 Tin Oxide 박막의 전기적, 광학적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .11
TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(II) : Cu/TiN/Si 구조
한국재료학회지
1995 .01
진공열처리가 TiN의 확산방지특성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
Reactive-Sputtered TiN Diffusion Barriers의 광학적 특성에 관한 연구 ( Optical Properties of TiN Diffusion Barriers Deposited by Reactive Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
TiN의 Cu 확산 방지막 특성
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
O₃-MOCVD로 제조된 산화주석박막
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
MOCVD법을 이용한 SnO₂(:F) 박막의 제조
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
공기 중에 노출된 MOCVD TiN 기판이 MOCVD Cu 증착에 미치는 효과
한국재료학회지
2000 .01
TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(I) : Al/TiN/Si 구조
한국재료학회지
1995 .01
TDEAT 단일증착원용 이용한 MOCVD TiN 형성과 막질에따른 Cu 확산방지막 효과
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1996 .11
Mocvd 에 의한 신기능소자 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )
한국통신학회 학술대회논문집
1989 .01
MOCVD에 의한 신기능소자 , 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )
특정연구 결과 발표회 논문집
1989 .01
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