Reactive-Sputtered TiN Diffusion Barriers의 광학적 특성에 관한 연구

유성룡 ,  안용철 ,  최진석 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

The Reliability of AI Film Due to Reactive-Sputtered TiN Barrier Metal

Seong-Yeol Cho ,  Yeong-Seuk Kim ,  Nam-Soo Kim

Journal of Electrical Engineering and information Science

1996 .12

Reactive Sputtering으로 제조한 TiN 박막의 전기적 특성 ( The Electrical Charateristics of TiN thin Films By Reactive Sputtering )

송태섭 ,  김기완

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

Reactive Sputtering 으로 제조한 TiN 박막의 전기적 특성

송태섭 ,  김기완

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

열처리에 따른 TiN Diffusion Barrier 에서의 Oxygen 거동에 관한 연구 ( Oxygen Behaviors During Heat Treatment of TiN Diffusion Barriers )

유성룡 ,  오원웅 ,  최진석 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

반응성 스트터링에서 방전특성과 TiN 박막의 물성특성의 상관 관계 연구

朴正后 ,  金光和 ,  河弘周 외 3명

전기학회논문지

1993 .08

Reactive Magnetron Sputter Ion Plating법으로 증착된 TiN 박막의 특성에 관한 연구

이민구 ,  김흥회 ,  김선재 외 2명

한국표면공학회지

2000 .04

Properties and Diffusion Barrier Performance of MOCVD TiN Films

Jung J. Kim ,  Jun K. Kim ,  Jin W. Pa 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Mechanical Properties of TiN Films Deposited with Magnetron Sputtering

Min-A Song ,  Ji-Hoon Yang ,  Jae-Hun Jung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

TiN의 Cu 확산 방지막 특성

이승윤 ,  라사균 ,  이원준 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

PROPERTIES OF Mo COMPOUNDS AS A DIFFUSION BARRIER BETWEEN Co AND Si PREPARED BY CO-SPUTTERING

Yong-Hyuk Lee ,  Jun-Yong Pa ,  k 외 2명

한국표면공학회지

1999 .06

반응성 스파터링법에 의해 제조된 TiN 코팅층의 밀착성에 대한 고찰

김홍윤 ,  백운승 ,  권식철 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1989 .11

TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(II) : Cu/TiN/Si 구조

박기철 ,  김기범

한국재료학회지

1995 .01

Ti/Si의 조성비율이 다른 타겟을 이용한 sputtered Ti-Si-N 박막의 증착특성 연구

박상기 ,  강봉주 ,  양희정 외 4명

한국재료학회지

2001 .01

반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiN_x 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과

김세기

한국표면공학회지

2019 .12

박막내 AIN 함량이 $(Ti_{1-x}Al_x)N$ 박막의 미세구조와 미세경도에 미치는 영향

박종관 ,  박주동 ,  오태성

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

EFFECT OF VACUUM ANNEALING OF MOCVD TiN ON THE DIFFUSION BARRIER PROPERTY

Lee ,  Jae-Gab ,  Cho 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

DC Magnetron Sputtering 법으로 성장된 TiN 박막의 미세구조 특성평가

김경원 ,  이태권 ,  김호정 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2004 .01

Reactive sputtered tin adhesion layer for wastewater treatment for bdd electrodes

Seo Han KIM ,  Mi Young YOU ,  Pung Keun SONG

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

Tin Nitride Thin Films Fabricated by Reactive RF Magnetron Sputtering at Various Nitrogen Gas Ratios

Sujin Choi ,  Juyun Patk ,  Jisoo Kang 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11