지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1991.11
- 수록면
- 357 - 360 (4page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (3)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Enhanced Oxygen Diffusion Barrier Properties of Hybrid Ru-TiN Thin Films Prepared by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
-
Reactive-Sputtered TiN Diffusion Barriers의 광학적 특성에 관한 연구 ( Optical Properties of TiN Diffusion Barriers Deposited by Reactive Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
-
TiN의 Cu 확산 방지막 특성
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
-
Properties and Diffusion Barrier Performance of MOCVD TiN Films
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1997 .01
-
TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(II) : Cu/TiN/Si 구조
한국재료학회지
1995 .01
-
TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(I) : Al/TiN/Si 구조
한국재료학회지
1995 .01
-
EFFECT OF VACUUM ANNEALING OF MOCVD TiN ON THE DIFFUSION BARRIER PROPERTY
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
-
TiN 에 대한 W의 부착특성에 관한 연구(l)
한국재료학회지
1993 .01
-
진공열처리가 TiN의 확산방지특성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
-
TiN확산 방지막에 대한 Cu-alloy(Mg)특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
-
Reactive-Sputtered TiN Diffusion Barriers의 광학적 특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
-
Reliability of Aluminum Film with TiN Barrier Metal
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1991 .01
-
Ti/TiN 구조 Barrier Metal의 형성과 그 Contact특성
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
-
Ti / TiN 구조 Barrier Metal의 형성과 그 Contact 특성 ( The Formation and Contact Characteristics of Ti / TiN Structure Barrier Metal )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
-
NH3 분위기에서 Ti 질화에 의한 TiN 형성
전기전자재료학회논문지
2004 .01
-
Cu 확산 방지용 TiN의 stuffing 효과에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
-
고밀도 플라즈마 CVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 특성
한국재료학회지
1999 .01
-
Cu와 Si사이의 확산방지막으로서 스터핑된 TiN에 대한 연구 ( A Study on the Stuffed TiN Thin Films as a Diffusion Barrier between Cu and Si )
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
-
Cu와 Si사이의 확산방지막으로서 스터핑된 TiN에 대한 연구
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
-
Ti/TiN/Ti buffer layer/TiN 구조를 갖는 TiN 박막의 충격마모특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .11
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0