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이용수
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 요약
참고문헌
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Carrier gas$(N_2,\;He)$가 MOCVD TiN 형성에 미치는 영향에 관한 연구
한국재료학회지
1996 .01
MOCVD TiN FOR HIGH TEMPERATURE PROCESS
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
후공정 처리에 의한 MOCVD TiN 막질 개선
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
MOCVD법을 이용한 SnO₂(:F) 박막의 제조
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
O₃-MOCVD로 제조된 산화주석박막
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
In-situ MOCVD Cu/MOCVD TiN 형성 공정에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
Properties and Diffusion Barrier Performance of MOCVD TiN Films
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1997 .01
Ozone Assisted-MOCVD로 제작된 산화주석막의 전기적 광학적 특성
한국표면공학회지
1998 .04
Low Pressure MOCVD법으로 Glass 위에 증착된 fluorine-doped Tin-oxide 박막에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
MOCVD를 이용하여 증착시킨 Hafnium Oxide 박막의 전기적 특성연구
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
MOCVD로 제조한 SnO 박막의 표면반응 특성
한국재료학회지
2003 .01
DC-Pulse Plasma와 Thermal MOCVD 방법으로 증착된 TiN 박막의 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .11
MOCVD 법을 이용한 PbTiO3 박막의 광학적 및 전기적 특성에 관한 연구 ( Optical and Electrical Properties of PbTiO3 Thin Films Deposited by MOCVD )
대한전자공학회 학술대회
1997 .07
MOCVD법을 이용한 PbTiO₃ 박막의 광학적 및 전기적 특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1997 .06
MOCVD 법에 의해 증착된 TiO2 박막의 결정구조 및 광학적 특성 ( Structural and Optical Properties of TiO2 Films Deposited by MOCVD )
전자공학회논문지-D
1997 .06
공기 중에 노출된 MOCVD TiN 기판이 MOCVD Cu 증착에 미치는 효과
한국재료학회지
2000 .01
MOCVD법으로 다양한 기판위에 성장한 ZnO 박막의 광학적, 구조적 특성 평가
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
EFFECT OF VACUUM ANNEALING OF MOCVD TiN ON THE DIFFUSION BARRIER PROPERTY
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
Mocvd 에 의한 신기능소자 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )
한국통신학회 학술대회논문집
1989 .01
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