Low Pressure MOCVD법으로 Glass 위에 증착된 fluorine-doped Tin-oxide 박막에 관한 연구

배정운 ,  현승욱 ,  이상운 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

MOCVD로 제조한 SnO 박막의 표면반응 특성

박경희 ,  서용진 ,  홍광준 외 2명

한국재료학회지

2003 .01

O₃-MOCVD로 제조된 산화주석박막

김용준 ,  배정운 ,  송국현 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

MOCVD 방법으로 증착된 $SnO_2$ 박막의 CO 가스 감지 특성

박경희 ,  류현욱 ,  이우선 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

O₃-MOCVD법에 의한 대면적 Tin Oxide 박막의 전기적, 광학적 특성

김용준 ,  배정운 ,  송국현 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11

In-situ MOCVD Cu/MOCVD TiN 형성 공정에 관한 연구

최정환 ,  박상기 ,  이재갑

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Carrier gas$(N_2,\;He)$가 MOCVD TiN 형성에 미치는 영향에 관한 연구

김재호 ,  이재갑 ,  지충수 외 3명

한국재료학회지

1996 .01

MOCVD TiN FOR HIGH TEMPERATURE PROCESS

Lee ,  Sang-Hyeob ,  Kim 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

후공정 처리에 의한 MOCVD TiN 막질 개선

오상헌 ,  김지용 ,  이재갑

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

광CVD-MOCVD를 이용한 SnO₂ 박막속도및 특성연구

박정일 ,  신성호 ,  박광자 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1993 .05

MOCVD에 의한 신기능소자 , 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

Mocvd 에 의한 신기능소자 제조기술개발 ( Development of New Functional Device by MOCVD )

김무성 ,  김현수 ,  김은규 외 5명

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

Properties and Diffusion Barrier Performance of MOCVD TiN Films

Jung J. Kim ,  Jun K. Kim ,  Jin W. Pa 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

MOCVD법으로 버퍼층을 활용한 ZnO 박막 제조

박재영 ,  이동주 ,  윤영수 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2004 .01

MOCVD법으로 다양한 기판위에 성장한 ZnO 박막의 광학적, 구조적 특성 평가

공보현 ,  김동찬 ,  한원석 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

ELECTRICAL PROPERTIES OF COPPER THIN FILMS PREPARED BY MOCVD

Cho ,  N.I. ,  Pa 외 6명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

MOCVD 공정에서 화학반응이 장치 내부 열유동에 미치는 영향

박신 ,  김경진 ,  곽호상

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2016 .11

공기 중에 노출된 MOCVD TiN 기판이 MOCVD Cu 증착에 미치는 효과

최정환 ,  변인재 ,  양희정 외 2명

한국재료학회지

2000 .01