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In-situ MOCVD Cu/MOCVD TiN 형성 공정에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
후공정 처리에 의한 MOCVD TiN 막질 개선
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
MOCVD TiN FOR HIGH TEMPERATURE PROCESS
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
공기 중에 노출된 MOCVD TiN 기판이 MOCVD Cu 증착에 미치는 효과
한국재료학회지
2000 .01
Carrier gas$(N_2,\;He)$가 MOCVD TiN 형성에 미치는 영향에 관한 연구
한국재료학회지
1996 .01
EFFECT OF VACUUM ANNEALING OF MOCVD TiN ON THE DIFFUSION BARRIER PROPERTY
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(II) : Cu/TiN/Si 구조
한국재료학회지
1995 .01
Rapid Thermal Annealing System의 시험 제작 ( Experimental Results of a Prototype Rapid Thermal Annealing System )
대한전자공학회 학술대회
1986 .01
TiN의 Cu 확산 방지막 특성
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
Enhancement of Selective Cu-MOCVD by Furnace Annealing and N2 Plasma Pretreatment
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
O₃-MOCVD법에 의한 대면적 Tin Oxide 박막의 전기적, 광학적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .11
Properties and Diffusion Barrier Performance of MOCVD TiN Films
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1997 .01
DC-Pulse Plasma와 Thermal MOCVD 방법으로 증착된 TiN 박막의 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .11
Cu와 Si사이의 확산방지막으로서 스터핑된 TiN에 대한 연구 ( A Study on the Stuffed TiN Thin Films as a Diffusion Barrier between Cu and Si )
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
Cu와 Si사이의 확산방지막으로서 스터핑된 TiN에 대한 연구
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
Plasma Enhancd MOCVD법에 의해 Pt/Ti/$SiO_2$/Si 위에 제조된 $Ba_{x}Sr_{1-x}TiO_3$박막의 전기적 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
열처리 조건에 따른 MOCVD Cu 박막의 특성 변화
한국재료학회지
1997 .01
EFFECT OF SOFT ANNEALING PROCESS ON Cu₂ZnSn(S,Se)₄ THIN FILM SOLAR CELLS SYNTHESIZED VIA HIGH PRESSURE RAPID THERMAL ANNEALING PROCESS
AFORE
2017 .11
Effect of Cu Diffusion in Cu / TiN / SiO2 / Si Capacitors by C-V Measurements
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
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