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저자정보
채상훈 (호서대학교) 정현채 (호서대학교) 문세호 (세왕씨이텍) 손영수 (한국기계연구원)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2003년 하계종합학술대회
발행연도
2003.7
수록면
1,089 - 1,092 (4page)

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Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. DIO₃ 공정
Ⅲ. 실험 및 분석
Ⅴ. 결론
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