주문형 반도체 웨이퍼 공정분석을 위한 시뮬레이션 연구

김기영; 이정호; 강창호; 김갑환

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김기영 이정호 강창호 김갑환

저널정보: 대한산업공학회 산업공학 (IE interfaces) 산업공학 (IE interfaces) 제18권 제1호

발행연도: 2005.3

수록면: 22 - 34 (13page)

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