환경친화적인 웨이퍼 건조공정 개발

장인성 ,  조소희 ,  송병선 외 1명

대한환경공학회 학술발표논문집

1998 .12

실리콘 태양전지 웨이퍼 Green 세정공정기술 개발

손영수 ,  함상용 ,  김병인

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

태양전지용 웨이퍼의 오염 분석 및 세정에 관한 연구

손영수 ,  함삼용 ,  채상훈

전자공학회논문지

2014 .08

태양광 실리콘 웨이퍼 세정제 개발

배수정 ,  이호열 ,  이종기 외 2명

청정기술

2012 .03

오존/자외선에 의한 실리콘 웨이퍼의 정밀세정에 관한 연구

박현미 ,  이창호 ,  전병준 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .07

오존수를 이용한 태양전지용 웨이퍼의 세정에 관한 연구

문세호 ,  채상훈 ,  손영수

전자공학회논문지

2013 .11

솔라셀 웨이퍼 세정 장치의 전산유동해석

김동욱 ,  박병호 ,  김종식 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .05

태양광 웨이퍼 세정공정의 표면 금속오염 제어 연구

이경무 ,  정진수 ,  김창수 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2014 .05

전리수를 이용한 Si 웨이퍼 표면 변화 연구

김우혁 ,  류근걸

한국산학기술학회 논문지

2002 .06

오존 마이크로 버블을 이용한 태양전지 웨이퍼의 세정

윤종국 ,  김영균 ,  최현철 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .04

실리콘 웨이퍼의 화학반응층 분석에 관한 연구

박준민 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

AFM을 이용한 실리콘 웨이퍼 표면 연구

이성호 ,  김홍락 ,  서광 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Development of watermark free drying process on hydrophobic wafer surface for single wafer process tool

임정수 ,  최승주 ,  성보람찬 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

Si 기판 세정 조건에 따른 산화막의 특성 연구

전형탁 ,  강응렬 ,  조윤성

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

초고진공 전자공명 플라즈마를 이용한 실리콘 기판표면 세정화 ( Si Wafer Surface Cleaning by UHV ECR Plasma )

황석희 ,  태홍식 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

오존을 이용한 반도체 웨이퍼 세정 및 PR 제거 공정

채상훈 ,  정현채 ,  문세호 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07

웨이퍼 레벨 3D 패키징을 위한 초박막 Si 웨이퍼 공정기술

최미경 ,  김은경

대한용접·접합학회지

2008 .02

Wafer Plasma Bevel Cleaning 장비용 핵심부품 세정기술

정나겸 ,  김상준 ,  김훈식 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템

이정우 ,  이병국 ,  이준재

한국멀티미디어학회 학술발표논문집

2008 .05