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이용수
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
[참고문헌]
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실리콘 웨이퍼 세정을 위한 오존의 거동에 관한 연구
반도체및디스플레이장비학회지
2005 .01
반도체 웨이퍼의 오존 수(水) 세정을 위한 고농도 오존발생장치 특성 연구
전기학회논문지 C
2003 .12
환경친화적인 실리콘 웨이퍼 세정 연구
청정기술
2000 .06
실리콘 태양전지 웨이퍼 Green 세정공정기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
오존 마이크로 버블을 이용한 태양전지 웨이퍼의 세정
대한전기학회 학술대회 논문집
2011 .04
오존을 이용한 반도체 웨이퍼 세정 및 PR 제거 공정
대한전자공학회 학술대회
2003 .07
태양광 실리콘 웨이퍼 세정제 개발
청정기술
2012 .03
UN-ozone을 이용한 실리콘 표면 세정 효과의 연구
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
오존수를 이용한 태양전지용 웨이퍼의 세정에 관한 연구
전자공학회논문지
2013 .11
UV / ozone을 이용한 실리콘 표면의 Dry Cleaning Process 연구
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
태양전지용 웨이퍼의 오염 분석 및 세정에 관한 연구
전자공학회논문지
2014 .08
초순수내에서의 오존의 용해도와 세정효과
한국재료학회지
1998 .01
적외선 광간섭계 기반의 실리콘 웨이퍼 정밀구조계측
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .10
자외선 세정기술의 응용
조명·전기설비
2005 .10
Thermal Analysis of a Silicon Wafer during Plasma Etching
Heat Transfer Conference
1998 .08
솔라셀 웨이퍼 세정 장치의 전산유동해석
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .05
실리콘 웨이퍼의 초정밀 절단가공에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .06
실리콘 웨이퍼의 초정밀 절단가공에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
1999 .10
초미세 위치결정시스템을 이용한 실리콘 웨이퍼의 파괴거동에 관한 연구
한국공작기계학회지
2000 .02
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