반도체 세정기술

최종복

공기청정기술

1994 .01

반도체 공정용 기능수의 용해오존 분해장치에 관한 연구

문세호 ,  채상훈 ,  손영수

전자공학회논문지-SD

2011 .05

반도체 세정 공정평가를 위한 저비용 나노입자 오염장치 개발

손일룡 ,  김태곤 ,  유영삼 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

친환경 평판 디스플레이 세정을 위한 $CO_2$ Snow Jet 세정공정 개발에 관한 연구

정지현 ,  강봉균 ,  김민수 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

[반도체생산자동화 연구회] 반도체ㆍFPD 세정공정 및 기술 동향

김두형 ,  황경현

제어로봇시스템학회지

2004 .01

세정평가

안강호

공기청정기술

1994 .01

특허정보분석보고서-반도체용세정기술(3)

한국발명진흥회

발명특허

2008 .01

정수장 오존공정에서의 배오존처리시설 최적화에 관한 고찰

이성락 ,  조우현 ,  안치화

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2017 .06

초음파 세정 및 건조기술

이강원 ,  윤의중 ,  김철호 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

오존을 이용한 반도체 웨이퍼 세정 및 PR 제거 공정

채상훈 ,  정현채 ,  문세호 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07

반도체 웨이퍼의 오존 수(水) 세정을 위한 고농도 오존발생장치 특성 연구

孫永洙 ,  咸尙龍 ,  文世湖

전기학회논문지 C

2003 .12

오존소비특성 분석에 의한 오존공정 자동제어

최준석 ,  김한솔 ,  김원재 외 3명

대한환경공학회 학술발표논문집

2001 .12

오존수를 이용한 태양전지용 웨이퍼의 세정에 관한 연구

문세호 ,  채상훈 ,  손영수

전자공학회논문지

2013 .11

마이크로버블을 이용한 세정장치 개발 및 세정성능 강화

전종선 ,  추주영 ,  이상헌 외 3명

한국방사성폐기물학회 학술대회

2012 .01

레이저를 이용한 반도체공정

최웅림 ,  구자강 ,  권오대

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

극저온 $CO_2$를 이용한 세정장치 개발

윤철남

발명특허

2001 .01

대체 세정장치의 경제성 분석

노경호

전자진흥

1993 .01

레이저 세정의 세정메카니즘 규명을 위한 실험적 연구

송재동 ,  백지영 ,  이명화 외 2명

대한환경공학회 학술발표논문집

2007 .12

초음파세정기술

이춘삼

공기청정기술

1994 .01

반도체에 관하여

염곡훈

전자공학회지

1965 .07