메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 電子工學會論文誌 SD編 第46卷 第10號
발행연도
2009.10
수록면
25 - 30 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

반도체/LCD PR 제거용 EC의 재이용 기술에 관한 연구
문세호 ,  채상훈 전자공학회논문지-SD 2009.10 학술저널

2007

반도체 PR 제거용 EC 재이용 시스템의 구현
문세호 ,  박세환 ,  채상훈 대한전자공학회 학술대회 2007.11 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
오존을 이용하여 PR 박리에 사용된 에틸렌 카보네이트계 박리 세정제를 재이용할 수 있는 기술에 대하여 연구함으로써 향후 고성능-저가격의 반도체, LCD 제조에서의 PR 박리 및 세정 공정에 적용할 수 있는 핵심 공정기술을 확보하였다. 이 기술을 적용하면 반도체 웨이퍼 및 LCD 평판의 PR 박리 세정을 보다 빠르고 저렴한 비용으로 수행할 수 있으므로 반도체 및 LCD 제작공정의 생산성을 향상시킬 수 있다.
#에틸렌 카보네이트 #오존 #EC 재이용 #PR 박리 #반도체 #LCD

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. EC에 의한 PR 박리공정
Ⅲ. PR 제거장치의 구성
Ⅳ. 실험 결과 및 분석
Ⅴ. 결론
참고문헌
저자소개

참고문헌 (6)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 이호열 / 2003 / 마이크로 에멀전형 준수계세정제의 배합조건 변화에 따른 물리적 특성 및 세정성능영향 / 한국공업화학회지 14 (2) : 142 ~ 151 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - 배재흠 / 2004 / 2,2,2-trifluoroethanol (TFEA)의 대체 세정제 적용 연구 / 공업화학 15 (7) : 773 ~ 778 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - 김한성 / 2004 / 수계/준수계 세정제의 개발 및 전자부품 세정공정 현장적용 연구 / 청정기술 10 (2) : 61 ~ 72 dbpia 4. [학술지(정기간행물)] - 손영수 / 2004 / PR 제거공정 적용을 위한 오존 수 생성기술 연구 / 전자공학회논문지 - SD 41 (12) : 1107 ~ 1114 dbpia 5. [학술지(정기간행물)] - 飯沼 知久 / 2004 / 高純度 エチレンカ－ボ>ネ－ト 新規 レジスト 剥離剤 / 東亞合成研究年報 (7) : 44 ~ 45 google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

전자폐수 처리 및 재이용
정진욱 한국지반환경공학회 학술발표회논문집 2010 .09
반도체 산업폐수 재이용 기술에 관한 연구 ( A Study on the Waste Water Recycling Technology for Semiconductor Industry )
지은상 ,  김재우 ,  신대윤 환경위생공학 1999 .12
광조형법을 이용한 고분자 리소그래피에 관한 연구
정영대 ,  이현섭 ,  손재혁 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2005 .01
UV 임프린트 리소그래피 공정을 통한 친환경적인 다양한 패턴필름의 제조와 특성분석
정민희 ,  육지호 ,  이승준 폴리머 2020 .07

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-569-018994053