$TaN_x$ 박막의 Cu 확산방지특성

장유진; 서봉석; 박종욱

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 장유진 (한국과학기술원 재료공학과) 서봉석 (한국과학기술원 재료공학과) 박종욱 (한국과학기술원 재료공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1999년도 춘계학술발표강연 및 눈문개요집

발행연도: 1999.1

수록면: 98 - 98 (1page)

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