Ta/TaN 복합 다층 피막의 기계적 특성

강영권 ,  이종무 ,  최상욱

한국재료학회지

1999 .01

TaO 고유전박막의 미세조직과 열적안정성

민석홍 ,  정병길 ,  최재호 외 5명

한국재료학회지

2002 .01

통계적 실험 방법에 의한 Ta 박막의 증착 특성 연구

서유석 ,  박대규 ,  정철모 외 6명

한국재료학회지

2001 .01

고유전물질인 ${Ta}_2O_5$의 전극재료로서 TiN과 TaN의 비교연구

신동우 ,  김대용 ,  김기범

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

반응성 스퍼터링방법으로 증착된 Ta-N 박막의 미세구조 분석

민경훈 ,  김기범

한국표면공학회지

1994 .10

VLF tanδ의 판정기준에 대한 통계적 분석

이건호 ,  임장섭 ,  김태완 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2012 .07

Al₂O₃ 기판 위에 제작된 Ta/Ta₂O₅/Ta 박막 커패시터의 전기적 특성

김현주 ,  송재성 ,  김인성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

열처리 온도에 따른 $Ta_2O_5$ 박막의 특성변화

강필규 ,  진정근 ,  노대호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

B-TA 기술

이창범

한국통신학회 워크샵

1995 .01

Film Properties of Amorphous TaN and Ta - ( Si ) - N Deposited from Remote Plasma MOCVD

한창희 ,  노경봉 ,  백수현 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

B-TA 기술 개발

전경표

한국통신학회 워크샵

1996 .01

Ta-Al 합금박막의 열적안정성에 미치는 질소첨가 효과

조원기 ,  김태영 ,  강남석 외 2명

한국재료학회지

1997 .01

Al2O3 기판위에 형성된 Ti-O 완충층을 가진 Ta/Ta2O5/Ta 커패시터의 특성

김현주 ,  송재성 ,  김인성 외 1명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

유도 결합 플라즈마를 이용한 TaN 박막의 건식 식각 특성

진려 ,  주영희 ,  우종창 외 3명

전기전자재료학회논문지

2013 .01

TaN/Al₂O₃ 집적화 박막 저항소자 개발에 관한 연구

김인성 ,  조영란 ,  민복기 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

Ta₂O₅의 유전 특성과 열 안정성에 관한 연구

김인성 ,  송재성 ,  이동윤 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

MOCVD TaN 증착기구에 대한 연구

전규창 ,  김기범 ,  신현국

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Ta₂O₅ 커패시터 박막의 유전 특성과 열 안정성에 관한 연구

金寅性 ,  李東胤 ,  宋在成 외 2명

전기학회논문지 C

2002 .05

ICP 스퍼터링으로 제조한 초경 TaN 박막에 관한 연구

이기락 ,  김훈 ,  최효석 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .11

$TaN_x$ 박막의 Cu 확산방지특성

장유진 ,  서봉석 ,  박종욱

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01