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슬러리 및 패드 변화에 따른 기계화학적인 연마 특성
전기학회논문지 C
2003 .10
GMP 공정에서의 유동 해석 및 웨이퍼 연마율에 대한 영향 고찰
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .05
슬러리 유량을 고려한 화학기계적 연마의 재료제거율 모델
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .06
화학 기계적 연마 시 패드 단면형상에 따른 연마특성 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
패턴 밀도를 고려한 Chemical Mechanical Polishing에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2002 .06
슬러리 유동이 웨이퍼 연마량에 미치는 영향에 대한 고찰
한국트라이볼로지학회 학술대회
2013 .04
희석된 혼합연마 슬러리의 연마특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
알루미늄 박막의 화학기계적연마 가공에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .02
Al의 화학 기계적 연마시 물리적 결함에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1999 .11
집중변수방법을 이용한 화학-기계적 연마공정의 TCM 연성모델
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .06
탄화규소(SiC)의 연마시 슬러리 온도 변화에 따른 재료제거율 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
기계-화학적 연마가공에서의 연마입자-웨이퍼표면간 접촉강성 및 마찰력연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .11
전기 에너지 사용에 따른 화학기계적 연마 공정의 환경부하 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .06
화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
실리카 슬러리에 첨가된 알루미나가 Langasite의 기계ㆍ화학적 연마에 미치는 영향 ( Effect of Alumina Addition to the Silica Slurry on the Chemical Mechanical Polishing of Langasite )
한국트라이볼로지학회 학술대회
1999 .11
PIV를 이용한 Chemical Mechanical Polishing 공정 중의 연마용액 유동흐름 측정
한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집
2004 .11
패턴 웨이퍼의 화학기계적 연마시 패턴 밀도의 영향과 모델링에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .01
다중 슬러리 분사시 노즐별 온도 제어를 통한 연마균일도 향상
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
화학기계적 연마 가공에서의 윤활 특성 해석 ( Analysis of the Lubricational Characteristics for Chemical-Mechanical Polishing Process )
Tribology and Lubricants
1999 .03
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