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대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 종합 학술 대회 논문집 (하계) 2002, Vol.2 : 반도체 소사이어티 Vol.25 No.1
발행연도
2002.6
수록면
221 - 224 (4page)

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목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. CMP 시뮬레이션 모델
Ⅲ. CMP 시뮬레이션 구현
Ⅳ. 시뮬레이션 결과와 실험 결과 비교
Ⅴ. 결론
참고 문헌

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