슬러리 및 패드 변화에 따른 기계화학적인 연마 특성

徐龍辰 ,  丁韶暎 ,  金相用

전기학회논문지 C

2003 .10

GMP 공정에서의 유동 해석 및 웨이퍼 연마율에 대한 영향 고찰

양우열 ,  정소영 ,  성인하

대한기계학회 춘추학술대회

2013 .05

화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증

손준규 ,  박성현 ,  이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2020 .09

CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증

손준규 ,  서준영 ,  김태경 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

연마패턴에 따른 연마특성 평가

조종래 ,  이재영 ,  김남경 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .06

연마패드 압력에 따른 연마입자 이동속도 변화의 분자동역학적 시뮬레이션 연구

이규영 ,  김태은 ,  이준하

전기전자재료학회논문지

2012 .01

슬러리 유량을 고려한 화학기계적 연마의 재료제거율 모델

이현섭 ,  이상직

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .06

CMP공정에서 연마결과에 영향을 미치는 패드 물성치에 관한 연구

김형재 ,  김호윤 ,  정해도

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2000 .03

화학기계적 연마에서 컨디셔너 직경에 따른 연마패드 마모 해석

손준규 ,  서준영 ,  김태경 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

자기연마를 이용한 Al 평판 연마의 특성

여우석 ,  박원규 ,  김율태 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

화학기계연마를 이용한 평탄화에 관한 연구

김호윤 ,  정해도

제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집

1998 .12

알루미늄 박막의 화학기계적연마 가공에 관한 연구

조웅 ,  안유민 ,  백창욱 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2002 .02

광학소자 가공방법(연마(2))-광학 유리의 경면 가공

한국광학기기협회

광학세계

2007 .01

화학기계적 연마에서 컨디셔너의 회전속도비에 따른 연마패드 마모해석

손준규 ,  서준영 ,  김태경 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .10

CMP 공정에서 패드 홈 밀도 변화에 따른 연마특성 연구

박기현 ,  정영석 ,  김형재 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

자유곡면 연마를 위한 자동 연마 시스템 개발

전문식 ,  오창진 ,  이응석 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2001 .04

화학기계적 연마 가공에서의 윤활 특성 해석

박상신 ,  조철호 ,  안유민

한국트라이볼로지학회 학술대회

1998 .11

온도에 따른 연마패드의 동적탄성계수의 변화가 연마율에 미치는 영향

박인호 ,  이다솔 ,  이종우 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

Al의 화학 기계적 연마시 물리적 결함에 관한 연구

문상태 ,  김경준 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1999 .11