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Mechanism of Piezoelectricity for Langasite Based on the Framework Crystal Structure
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2012 .01
슬러리 및 패드 변화에 따른 기계화학적인 연마 특성
전기학회논문지 C
2003 .10
GMP 공정에서의 유동 해석 및 웨이퍼 연마율에 대한 영향 고찰
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .05
슬러리 유량을 고려한 화학기계적 연마의 재료제거율 모델
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .06
화학 기계적 연마 시 패드 단면형상에 따른 연마특성 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
슬러리 유동이 웨이퍼 연마량에 미치는 영향에 대한 고찰
한국트라이볼로지학회 학술대회
2013 .04
희석된 혼합연마 슬러리의 연마특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
산화망간이 첨가된 혼합 연마제 실리카 슬러리의 산화막 CMP 특성
전기전자학회논문지
2019 .12
Crystal Structure and Piezoelectric Properties of Four Component Langasite A3B Ga3Si2O14 (A = Ca or Sr, B = Ta or Nb)
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2012 .01
알루미늄 박막의 화학기계적연마 가공에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .02
화학기계연마에 있어 패턴 밀도, 크기 및 단차에 따른 슬러리 효과
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
Al의 화학 기계적 연마시 물리적 결함에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1999 .11
탈이온수로 희석된 실리카 슬러리에 알루미나 연마제가 첨가된 혼합 연마제 슬러리의 CMP 특성
전기전자재료학회논문지
2003 .01
연마액이 6H-SiC의 화학적 기계적 연마에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .06
집중변수방법을 이용한 화학-기계적 연마공정의 TCM 연성모델
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .06
탄화규소(SiC)의 연마시 슬러리 온도 변화에 따른 재료제거율 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
SiO₂/CeO₂ 혼합 연마 슬러리가 CMP 연마 특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .05
Drying Chracteristics of Alumina Slurries by Infrared Heating
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
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