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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2008.11
수록면
295 - 296 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2010

입자연마가공에서 표면-입자 접촉에 대한 시뮬레이션 연구
성인하 한국트라이볼로지학회 학술대회 2010.06 학술대회자료

2009

입자 연마 가공에서의 연마 입자-공작물 표면간 접촉에 따른 마찰해석
성인하 ,  한흥구 ,  공호성 한국트라이볼로지학회 학술대회 2009.11 학술대회자료

2008

기계-화학적 연마가공에서의 연마입자-웨이퍼표면간 접촉강성 및 마찰력연구
성인하 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.11 학술대회자료

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#Chemical Mechanical Polishing(CMP) #Friction #Contact Stiffness #Atomic-scale Stick-Slip

목차

1. 서론
2. 연구 및 실험 방법
3. 결과 및 토의
4. 결론
후기
참고문헌

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입자연마가공에서의 stick-slip friction 및 미세결함 생성에 대한 영향 고찰
정소영 ,  양우열 ,  성인하 대한기계학회 춘추학술대회 2013 .05
미세입자의 트라이볼로지적 응용을 위한 마찰특성 고찰
성인하 ,  한흥구 ,  공호성 Tribology and Lubricants 2009 .04
CMP 공정에서 접촉계면 특성변화에 따른 마찰력 신호 분석
김구연 ,  김형재 ,  박범영 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004 .05

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