지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 스크래치 발생 원인과 저감 대책
3. 실험 재료 및 가공 조건
4. 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
알루미늄 박막의 화학기계적연마 가공에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .02
집중변수방법을 이용한 화학-기계적 연마공정의 TCM 연성모델
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .06
기계-화학적 연마가공에서의 연마입자-웨이퍼표면간 접촉강성 및 마찰력연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .11
전기 에너지 사용에 따른 화학기계적 연마 공정의 환경부하 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .06
화학 기계적 연마 시 패드 단면형상에 따른 연마특성 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
슬러리 및 패드 변화에 따른 기계화학적인 연마 특성
전기학회논문지 C
2003 .10
GMP 공정에서의 유동 해석 및 웨이퍼 연마율에 대한 영향 고찰
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .05
화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
화학기계적 연마 가공에서의 윤활 특성 해석 ( Analysis of the Lubricational Characteristics for Chemical-Mechanical Polishing Process )
Tribology and Lubricants
1999 .03
화학기계적연마 공정에서 미소 스크래치 저발생화를 위한 가공기술 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .08
화학기계적연마 공정의 윤활역학적 압력 및 전단응력 분포 해석
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .01
패턴 밀도를 고려한 Chemical Mechanical Polishing에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2002 .06
화학기계적 연마(CMP) 공정과 관련연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .10
자기연마를 이용한 Al 평판 연마의 특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2003 .10
CMP공정에서 연마결과에 영향을 미치는 패드 물성치에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .03
슬러리 유량을 고려한 화학기계적 연마의 재료제거율 모델
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .06
AE신호를 이용한 자동 연마가공에서의 연마면 상태감시
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2000 .04
슬러리 유동이 웨이퍼 연마량에 미치는 영향에 대한 고찰
한국트라이볼로지학회 학술대회
2013 .04
Al/Al2O3 금속복합재료의 기계적 성질과 피로거동 ( Mechanical Property and Fatigue Behavior of Al/Al2O3 Metal Matrix Composite )
대한기계학회 논문집 A권
1996 .03
0