화학기계적 연마 가공에서의 윤활 특성 해석 ( Analysis of the Lubricational Characteristics for Chemical-Mechanical Polishing Process )

박상신; 조철호; 안유민

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박상신 조철호 안유민

저널정보: 한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants 한국윤활학회지 제15권 제1호

발행연도: 1999.3

수록면: 90 - 97 (8page)

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