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학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제19권 제2호
발행연도
2002.2
수록면
49 - 57 (9page)

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ABSTRACT
1. 서론
2. Al 박막의 CMP 가공실험
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
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