개인구독
소속 기관이 없으신 경우, 개인 정기구독을 하시면 저렴하게
논문을 무제한 열람 이용할 수 있어요.
지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
Effect of Slurry Flow in Spray Slurry Nozzle System on Cu CMP
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .02
Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
산화망간이 첨가된 혼합 연마제 실리카 슬러리의 산화막 CMP 특성
전기전자학회논문지
2019 .12
CMP 공정에서 슬러리 분사 주입에 따른 슬러리 막 형성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
A Study on the Polishing Characteristics Using Floating Nozzle in Linear Roll CMP
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2015 .07
구리 CMP 공정에서 온도가 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
스프레이 노즐의 슬러리 분사높이와 분사위치가 구리 CMP 에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
CMP 온도 모니터링 시스템을 이용한 웨이퍼 면내 균일도 향상에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .05
Effect of Slurry Film Thickness Variation according to Spray Range Using Ultrasonic Spray Nozzle on Material Removal Rate
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2022 .09
구리 CMP 에서 슬러리의 다중 분사를 통한 온도 프로파일 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
화학적 기계적 연마에서 슬러리 유동의 해석을 위한 CFD 프로세스 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
SiO₂ CMP 에서 스프레이 슬러리 노즐 효과에 대한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
이트리아 박막 조도 개선 공정을 위한 화학적 기계적 연마 슬러리 최적화
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
연마율 개선을 위한 화학적기계연마 패드 표면돌기의 기계적 특성 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
LiTaO₃ CMP에서 슬러리 첨가제에 따른 재료제거율 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
탄화규소(SiC)의 연마시 슬러리 온도 변화에 따른 재료제거율 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
구리 후막용 CMP 슬러리의 환경 영향 평가
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .10
수직 정렬된 탄소나노튜브에 의한 긁힘마멸과 표면연마
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
구리 CMP에서 연마 온도가 제거 속도에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
슬러리 소비 감소를 위한 CMP 분위기 제어를 이용한 슬러리 미스트 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
0