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저자정보
이기훈 (부산대학교) 이다솔 (부산대학교) 이동환 (부산대학교) 신소민 (부산대학교) 정해도 (부산대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2018년도 학술대회
발행연도
2018.12
수록면
2,745 - 2,745 (1page)

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#Slurry temperature(슬러리 온도) #Multi-nozzle(다중 노즐) #Non-uniformity(연마균일도) #Copper CMP(구리 화학기계적연마)

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