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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.1
- 수록면
- 235 - 238 (4page)
이용수
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2008
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This paper describes the mechanical properties of poly (Polycrystalline) 3C-SiC thin films with N2 in-situ doping. In this work, the poly 3C-SiC film was deposited by APCVD (Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition) method using single-precursor HMDS (Hexamethyildisilane: Si₂(CH₃)6) at 1200 ℃. The mechanical properties of doped poly 3C-SiC thin films were measured by nono-indentation according to the various N₂ flow rate. In the case of 0 sccm N₂ flow rate, Young's Modulus and hardness were obtained as 285 GPa and 35 GPa, respectively. Young's Modulus and hardness were decreased according to increase of N₂ flow rate. The crystallinity and surface roughness was also measured by XRD (X-Ray Diffraction) and AFM (Atomic Force Microscopy), respectively.
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J. A. Powell / 1989 / Recent developments in SiC / Proc. 1st Int. Amorphous & crystalline SiC & Related Mat : 2 ~
J. A. Powell / 1992 / Progress in silicon carbide semiconductor technology / Mmat. Soc. Symp. Proc. 242 : 495 ~
J. J. Vlassak / 1992 / A new bulge test technique for the determination of Young's modulus and poission's ratio of thin films / J. Mat. Res. 7 : 3242 ~
J. Koskinen / 1993 / Microtensile testing of free standing ploysilicon fibers of various grain sizes / J. Micromech. Microeng 3 : 13 ~
J. Zhang / 2006 / Electrical characterization of n-type poly-crystalline 3C-SiC thin films deposited by 1,3-dislabutane / J. Electrochem. Soc. 153 : 548 ~
J. A. Powell / 1992 / Progress in silicon carbide semiconductor technology / Mmat. Soc. Symp. Proc. 242 : 495 ~
J. J. Vlassak / 1992 / A new bulge test technique for the determination of Young's modulus and poission's ratio of thin films / J. Mat. Res. 7 : 3242 ~
J. Koskinen / 1993 / Microtensile testing of free standing ploysilicon fibers of various grain sizes / J. Micromech. Microeng 3 : 13 ~
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