지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.1
- 수록면
- 651 - 654 (4page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
This paper describes the thermal and mechanical properties of doped thin film 3C-SiC and porous 3C-SiC. In this work, the in-situ doped thin film 3C-SiC was deposited by using atmospheric pressure chemical vapor deposition (APCVD) method at 120℃ using single-precursor hexamethyildisilane: Si2(CH3)6 (HMDS) as Si and C precursors. 0～40 sccm N2 gas was used as doping source. After growing of doped thin film 3C-SiC, porous structure was achieved by anodization process with 380 nm UV-LED. Anodization time and current density were fixed at 60 sec and 7.1 mA/cm2, respectively. The thermal and mechanical properties of the N2 doped porous 3C-SiC was measured by temperature coefficient of resistance (TCR) and nano-indentation, respectively. In the case of 0 sccm, the variations of TCR of thin film and porous 3C-SiC are similar, but TCR conversely changed with increase of N2 flow rate. Maximum young’s modulus and hardness of porous 3C-SiC films were measured to be 276 GPa and 32 Gpa at 0 sccm N2, respectively.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (6)
참고문헌 신청
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
In-situ 도핑량이 다공성 3C-SiC 박막의 특성에 미치는 영향
전기전자재료학회논문지
2010 .01
-
Characteristics of Polycrystalline β-SiC Films Deposited by LPCVD with Different Doping Concentration
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2005 .01
-
양극산화법과 UV-LED를 이용한 다공성 3C-SiC 박막 형성
센서학회지
2009 .01
-
In-situ 도핑된 M/NEMS용 다결정 3C-SiC 박막의 특성
센서학회지
2008 .01
-
APCVD로 in-situ 도핑된 다결정 3C-SiC 박막의 기계적 특성
전기전자재료학회논문지
2009 .01
-
반응소결 SiC 재료와 SiC_f/SiC 복합재료의 특성
대한기계학회 춘추학술대회
2003 .04
-
SiC/SiC 복합재료의 제조 및 특성
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .02
-
A Study of Properties of 3C-SiC Films deposited by LPCVDwith Different Films Thickness
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2008 .01
-
폐 SiC 슬러지를 이용하여 제조한 연속다공질 SiC-SiN 복합체의 미세조직
한국재료학회지
2005 .01
-
용융함침법에 의한 반응소결 SiC/SiC 복합재료의 특성 평가
대한기계학회 논문집 A권
2007 .02
-
HMDS 단일 전구체를 이용한 다결정 3C-SiC 박막 성장
전기전자재료학회논문지
2007 .01
-
SiC 단체와 SiC/SiC 복합재료의 충격파괴거동
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .02
-
순 아르콘 캐리어 가스와 APCVD로 성장된 다결정 3C-SiC 박막의 기계적 특성
센서학회지
2007 .01
-
Fabrication of porous $SiC-Si_3N_4$ composite using waste SiC sludge by fibrous monolithic process
한국재료학회 학술발표대회
2004 .01
-
비정질 p-SiC/i-SiC/i-Si/n-Si 박막 태양전지에서 i-SiC 완충층의 역할
한국재료학회지
1999 .01
-
The Frequency Characteristics of Elastic Wave by Crack Propagation of SiC/SiC Composites
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2012 .10
-
도핑농도에 따른 다결정 3C-SiC 박막의 기계적 특성
센서학회지
2008 .01
-
SiC/SiC 복합재료의 균열진전에 따르는 탄성파 특성
대한기계학회 춘추학술대회
2009 .05
-
핵융합로 디버터 대면재의 W 접합부 미세조직과 마이크로경도 측정
대한기계학회 논문집 A권
2017 .12
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0