Silicon WAfer Process Technology

이종덕

대한전자공학회 학술대회

1979 .01

순 아르콘 캐리어 가스와 APCVD로 성장된 다결정 3C-SiC 박막의 기계적 특성

한기봉 ,  정귀상

센서학회지

2007 .01

6인치 4H-SiC Wafer기반 SiC Power Diode 소자 제작 및 특성 평가

원종일 ,  박건식 ,  구진근 외 4명

대한전자공학회 학술대회

2016 .06

HMDS 단일 전구체를 이용한 다결정 3C-SiC 박막 성장

정귀상 ,  김강산 ,  한기봉

전기전자재료학회논문지

2007 .01

APCVD법으로 증착한 3C-SiC 박막의 라만 산란 특성

정준호 ,  정귀상

전기전자재료학회논문지

2007 .01

$O_{3}$/TEOS를 이용한 후막 Si$O_{2}$의 성장 특성

이우형 ,  김현수 ,  유지범

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

저온공정 실리콘 산화막의 질소 패시베이션 효과

정호균 ,  김준식 ,  이준신 외 2명

전기전자재료학회논문지

2006 .01

P-Channel Amorphous-Silicon Thin-Film Transistors

K. S. Choi ,  M. Matsumu ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

CVD에 의한 M/NEMS용 다결정 3C-SiC 박막 성장

정귀상 ,  김강산 ,  정준호

센서학회지

2007 .01

Effects of Amorphous-silicon and Poly-silicon films on Within-Wafer Non-Uniformity (WIWNU) Improvement in Chemical Mechanical Polishing

Choi ,  Yoon-Kweon ,  Choi 외 9명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

$O_3/HMDS$ APCVD를 이용한 후막 $SiO_2$ 성장특성연구

최진경 ,  이우형 ,  유지범

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

PATTERNED SUBSTRATES FOR AMORPHOUS SILICON THIN FILM SOLAR CELLS

Kang-Soo Han ,  Ji-Hoon Jang ,  Ju-Hyeon Shin 외 3명

AFORE

2011 .11

4H-SiC wafer의 반응성 이온 식각 공정과 분석

신동열 ,  강수창 ,  신무환

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

APCVD로 in-situ 도핑된 다결정 3C-SiC 박막의 기계적 특성

김강산 ,  정귀상

전기전자재료학회논문지

2009 .01

Si(100) 기판 위에 성장된 3C-SiC 박막의 물리적 특성

정귀상 ,  정연식 ,  Shigehi 외 1명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

열처리 조건에 따른 3C-SiC 박막을 이용한 그래핀 합성

김강산 ,  정귀상

센서학회지

2012 .01

A wafer surface temperature measurement method utilizing the reordering phenomena of amorphous silicon (The REAL method)

Kazuaki Yamazawa ,  Masa ,  u A 외 3명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2006 .10

AGGLOMERATION OF AMORPHOUS SILICON NANOPARTICLES BY THERMAL TREATMENT TOWARD SILICON THIN FILM FORMATION

Bo Yun JANG ,  Ja Young Kim ,  Jeong Chul LEE 외 2명

AFORE

2011 .11

In-situ 도핑량이 다공성 3C-SiC 박막의 특성에 미치는 영향

김강산 ,  정귀상

전기전자재료학회논문지

2010 .01