BF2 Dopant가 Titanium Polycide 형성에 미치는 영향 ( Effect of BF2 on the Formation of Ti-Polycide )

강성건 ,  황유상 ,  김동원 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

BF₂ Dopant가 Titanium Polycide 형성에 미치는 영향

강성건 ,  황유상 ,  김동원 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

An Improved Process for the Significant Reduction of Polycide-to-Polycide Contact Resistance

Ki Sang Kim ,  Ji Chul Shin ,  Yun Seung Shin 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

RTP에 의한 W-Polycide막 특성

張宜久 ,  金昌日 ,  金泰亨 외 2명

전기학회논문지

1991 .11

폴리사이드 형성 조건에 따른 WSi_x 박막 특성에 관한 연구

鄭陽喜 ,  姜聲俊 ,  金京元

전기학회논문지 C

2003 .09

W-Polycide Gate Etch 공정에 관한 연구 ( Development of W-Polycide Gate Etch Process )

신철호 ,  이정길 ,  안태혁 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

A STUDY ON THE UNSTABILITY OF CONTACT RESISTANCE IN W(tungsten) POLYCIDE BIT LINE TO W POLYCIDE WORD LINE CONTACT

Pa ,  k ,  S.W. 외 8명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Quartz/tungsten polycide 구조에서 발생되는 crack에 대한 연구

김지용 ,  오상헌 ,  이재갑 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Ti-polycide gate의 gate oxide 신뢰성의 limitation 연구

이내인 ,  김영욱 ,  고종우 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

니켈 폴리사이드 게이트의 열적안정성과 C-V 특성

정연실 ,  배규식

한국재료학회지

2001 .01

대나무 섬유(BF) 및 PP/BF 복합체의 물성에 미치는 BF의 화학적 처리의 영향

이범희 ,  정다솔 ,  김철우 외 2명

공업화학

2018 .01

Emission Characteristics of Gated Mo-Polycide Field Emitter Arrays

우형수 ,  권상직 ,  박병국 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

TiSi2 박막의 응집기구와 sub-half micron Ti-polycide 배선의 전기저항

김영욱 ,  이내인 ,  고종우 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

TEM을 이용한 『Poly-Si/SiO₂/W Polycide』다층막의 특성평가

박대병 ,  구경완 ,  조성길 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

TEM을 이용한 Poly-Si / SiO2 / W Polycide 다층막의 특성평가 ( Evaluation of Poly-Si / SiO2 / W-Polycide Multi Layered Film Using Cross Sectional TEM )

박대병 ,  구경완 ,  조성길 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

TiN/TiSi₂ 경합반응과 불순물 재분포 특성에 대한 기판 실리콘에 주입된 BF₂ 불순물 농도의 영향

李鐵眞 ,  成英權

전기학회논문지

1993 .06

Nano CMOS 소자를 위한 Ni-silicide의 Dopant 의존성 분석

배미숙 ,  지희환 ,  이헌진 외 5명

전자공학회논문지-SD

2003 .11

대나무 섬유(BF) 실란처리가 폴리프로필렌(PP)/에틸렌-옥텐 고무/BF 복합체의 물성에 미치는 영향

이범희 ,  김진주 ,  정다솔 외 3명

폴리머

2017 .07

Si 기판에 주입된 BF2불순물이 Ti Silicides 형성에 미치는 영향 ( Effects of Implanted BF2 on the Formation of Ti-Silicides )

최석훈 ,  최진석 ,  백수현

전자공학회논문지

1990 .12

Poly-Si에 이온 지입된 dopants가 Ti-Silicides 형성에 미치는 영향 ( Effects of dopants introduced into the poly-Si on the formation of Ti-Silicides )

류연수 ,  최진석 ,  백수현

대한전자공학회 학술대회

1989 .07