TEM을 이용한 Poly-Si / SiO2 / W Polycide 다층막의 특성평가 ( Evaluation of Poly-Si / SiO2 / W-Polycide Multi Layered Film Using Cross Sectional TEM )

박대병 ,  구경완 ,  조성길 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

LPCVD로 증착된 WSi_x/poly-Si막 두께변화에 의한 W-polycide특성

金泰亨 ,  金昌日 ,  張宜久

전기학회논문지

1992 .10

An Improved Process for the Significant Reduction of Polycide-to-Polycide Contact Resistance

Ki Sang Kim ,  Ji Chul Shin ,  Yun Seung Shin 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

RTP에 의한 W-Polycide막 특성

張宜久 ,  金昌日 ,  金泰亨 외 2명

전기학회논문지

1991 .11

폴리사이드 형성 조건에 따른 WSi_x 박막 특성에 관한 연구

鄭陽喜 ,  姜聲俊 ,  金京元

전기학회논문지 C

2003 .09

W-Polycide Gate Etch 공정에 관한 연구 ( Development of W-Polycide Gate Etch Process )

신철호 ,  이정길 ,  안태혁 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Poly·Si-SiO2를 통한 저농도 붕소확산 ( Boron Diffusion of Low Concentration through Poly·Si-SiO2 )

김정회 ,  주병권 ,  김철주

전자공학회논문지

1987 .03

A STUDY ON THE UNSTABILITY OF CONTACT RESISTANCE IN W(tungsten) POLYCIDE BIT LINE TO W POLYCIDE WORD LINE CONTACT

Pa ,  k ,  S.W. 외 8명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

BF₂ Dopant가 Titanium Polycide 형성에 미치는 영향

강성건 ,  황유상 ,  김동원 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

BF2 Dopant가 Titanium Polycide 형성에 미치는 영향 ( Effect of BF2 on the Formation of Ti-Polycide )

강성건 ,  황유상 ,  김동원 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Si-SiO₂系의 問題点과 研究動向

成英權

전기의세계

1985 .06

다결정 Si/SiO₂ ∥ Si 적층구조에서 SiO₂층의 두께에 따른 유전특성의 변화

송오성 ,  이영민 ,  이진우

한국표면공학회지

2000 .08

인이 주입된 poly-Si/SiO2/Si 기판에서 텅스텐 실리사이드의 형성에 관한 연구 ( Study on Formation of W-Silicide in the Doped-Phosphorus poly-Si/SiO2/Si-Substrate )

정회환 ,  주병권 ,  오명환 외 1명

전자공학회논문지-A

1996 .03

Quartz/tungsten polycide 구조에서 발생되는 crack에 대한 연구

김지용 ,  오상헌 ,  이재갑 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

On Integrating a Polycide-ONO-Poly Capacitor into a 0.8㎛ Digital Technology for Mixed-Signal ASICs

Subhash R. Na ,  iani ,  Calvin T. Gab 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

BF2 Dopant가 Titanium Polycide 형성에 미치는 영향 ( Effect of BF2 Dopant on the Formation of Ti-Polycide )

최진석 ,  백수현

전자공학회논문지-A

1991 .11

Poly-Si의 성장 기구와 제특성

김상욱 ,  박종욱 ,  천영일 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .07

SIMS를 이용한 SiO₂/PSG/SiO₂/Al-1%Si 및 SiO₂/TEOS/SiO₂/Al-1%Si 적층 박막내의 Na 게터링 분석

김진영

한국표면공학회지

2018 .04

Capacitance-Voltage Characteristics in the Double Layers of SiO₂/Si₃N₄

洪能杓 ,  洪眞雄

전기학회논문지 C

2003 .10

Si$O_{2}/{Si}_{0.7}{Ge}_{0.3}/SiO_{2}$계에서의 계면응집현상에 의한 양자점 형성에 관한 연구

윤태식 ,  권장연 ,  이동훈 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01