RTP에 의한 W-Polycide막 특성

張宜久 ,  金昌日 ,  金泰亨 외 2명

전기학회논문지

1991 .11

An Improved Process for the Significant Reduction of Polycide-to-Polycide Contact Resistance

Ki Sang Kim ,  Ji Chul Shin ,  Yun Seung Shin 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

BF₂ Dopant가 Titanium Polycide 형성에 미치는 영향

강성건 ,  황유상 ,  김동원 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

BF2 Dopant가 Titanium Polycide 형성에 미치는 영향 ( Effect of BF2 on the Formation of Ti-Polycide )

강성건 ,  황유상 ,  김동원 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

W-Polycide Gate Etch 공정에 관한 연구 ( Development of W-Polycide Gate Etch Process )

신철호 ,  이정길 ,  안태혁 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

A STUDY ON THE UNSTABILITY OF CONTACT RESISTANCE IN W(tungsten) POLYCIDE BIT LINE TO W POLYCIDE WORD LINE CONTACT

Pa ,  k ,  S.W. 외 8명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Quartz/tungsten polycide 구조에서 발생되는 crack에 대한 연구

김지용 ,  오상헌 ,  이재갑 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

BF2 Dopant가 Titanium Polycide 형성에 미치는 영향 ( Effect of BF2 Dopant on the Formation of Ti-Polycide )

최진석 ,  백수현

전자공학회논문지-A

1991 .11

TEM을 이용한 『Poly-Si/SiO₂/W Polycide』다층막의 특성평가

박대병 ,  구경완 ,  조성길 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

TEM을 이용한 Poly-Si / SiO2 / W Polycide 다층막의 특성평가 ( Evaluation of Poly-Si / SiO2 / W-Polycide Multi Layered Film Using Cross Sectional TEM )

박대병 ,  구경완 ,  조성길 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

DCS Post Flow 가 WSi_x 박막 특성에 미치는 영향

鄭陽喜 ,  姜聲俊 ,  姜喜淳

전기학회논문지 C

2003 .04

결정상에 대한 고용체가 Bi₂Sr₂Ca_n-1Cu_nO_x(n=0, 1, 2) 박막의 특성에 미치는 영향

양승호 ,  이호식 ,  박용필

한국정보통신학회논문지

2007 .06

TiSi2 박막의 응집기구와 sub-half micron Ti-polycide 배선의 전기저항

김영욱 ,  이내인 ,  고종우 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Emission Characteristics of Gated Mo-Polycide Field Emitter Arrays

우형수 ,  권상직 ,  박병국 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Zn^xSr₁^-xS 박막의 제작과 특성에 관한 연구

이상태

한국정보통신학회논문지

2001 .10

LPCVD로 증착된 WSi_x/poly-Si막 두께변화에 의한 W-polycide특성

金泰亨 ,  金昌日 ,  張宜久

전기학회논문지

1992 .10

Ti-polycide gate의 gate oxide 신뢰성의 limitation 연구

이내인 ,  김영욱 ,  고종우 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

니켈 폴리사이드 게이트 전극 형성에 관한 연구

정연실 ,  김시중 ,  김주연 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

코발트 폴리사이드 게이트 전극 형성

심현상 ,  구본철 ,  배규식

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

음극 아크법으로 증착한 ZrO₂/Al₂O₃ 박막의 고온특성

이동복 ,  T ,  inh Van T 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05