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Poly-Si에 첨가한 도펀트가 Titanium Silicides 형성에 미치는 영향 2 ( Effects of Dopants Introduced into the Poly-Si on the Formation of Ti-Silicides )
전자공학회논문지
1990 .02
Poly-Si에 도핑공정변화에 따른 Ti-Silicides 형성반응에 관한 연구 ( The formation of Ti-Silicides with the change of doping process on the poly-Si )
대한전자공학회 학술대회
1988 .11
Al-1%Si 과 Ti-Silicide의 반응성에 관한 연구 ( A Study on the Reaction of Al-1%Si with Ti-Silicide )
대한전자공학회 학술대회
1992 .01
CMOS소자를 위한 Ni Silicide의 Dopant에 따른 영향분석
대한전자공학회 학술대회
2002 .06
Composite Target으로 증착된 Ti-silicide의 현성에 관한 연구[II]
한국재료학회지
1991 .01
Dopant가 주입된 poly-Si 기판에서 Ta-silicides의 형성 및 dopant 의 거동에 관한 연구
한국재료학회지
1991 .01
Composite Target으로 증착된 Ti-Silicide의 형성 ( The Formation of Ti-Silicide Deposited With Composite Target )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
Ti-실리사이드 형성에 관한 연구 ( A Study on the Ti-Silicide Formation )
대한전자공학회 학술대회
1987 .07
Si 기판에 주입된 BF2불순물이 Ti Silicides 형성에 미치는 영향 ( Effects of Implanted BF2 on the Formation of Ti-Silicides )
전자공학회논문지
1990 .12
Ti-실리사이트 형성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1987 .07
Ti 및 Si 혼합 분말의 전기방전소결에 의한 Titanium Silicide의 합성 연구
한국분말야금학회지
2005 .01
실리사이드를 이용한 새로운 고내구성 실리콘 전계방출소자의 제작
한국재료학회지
2000 .01
Si기판에 주입된 As이온이 Titanium-Silicides 형성에 미치는 영향 - 1 - ( Effects of As Ions Implanted in Si Substrates on the Titanium-Silicides Formation )
전자공학회논문지
1989 .06
Composite Target으로 중착된 Mo-Silicide의 형성 및 이에 따른 불순물의 거동 ( Behavior of the Implanted Dopants and Formation of Molybdenum Silicide by Composite Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1992 .01
Si 기판 위에 Mo-Silicides의 형성과 그 특성에 관한 연구 ( A Study on the Properties and Formation of Mo-Silicides on Si-Substrate )
전자공학회논문지-A
1991 .01
Si$_3$N$_4$를 이용한 Co silicided Si FEA의 제작
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
Si 기판 위에 형성된 Mo-silicides에 관한 연구 ( A study of Mo-silicides formed on Si-substrate )
대한전자공학회 학술대회
1990 .07
Ti Self-Aligned Silicide를 이용한 Contact에서의 전기적 특성
전기학회논문지
1992 .02
급속 열처리공정 ( RTA ) 에 의한 a-Si / Ti / a-Si 다층구조의 TiSi2 형성에 관한 연구 ( Titanium Silicide Formation of the a-Si / Ti / a-Si Multilayer by Rapid Thermal Annealing )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
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