TiSi2의 열적 불안전성에 대한 이론적 고찰 및 개선 방안 ( The theoretical study and improvement on agglomeration of TiSi2 )

권성수 ,  김상영 ,  유상호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

폴리사이드 형성 조건에 따른 WSi_x 박막 특성에 관한 연구

鄭陽喜 ,  姜聲俊 ,  金京元

전기학회논문지 C

2003 .09

An Improved Process for the Significant Reduction of Polycide-to-Polycide Contact Resistance

Ki Sang Kim ,  Ji Chul Shin ,  Yun Seung Shin 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

RTP에 의한 W-Polycide막 특성

張宜久 ,  金昌日 ,  金泰亨 외 2명

전기학회논문지

1991 .11

BF₂ Dopant가 Titanium Polycide 형성에 미치는 영향

강성건 ,  황유상 ,  김동원 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

BF2 Dopant가 Titanium Polycide 형성에 미치는 영향 ( Effect of BF2 on the Formation of Ti-Polycide )

강성건 ,  황유상 ,  김동원 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

A STUDY ON THE UNSTABILITY OF CONTACT RESISTANCE IN W(tungsten) POLYCIDE BIT LINE TO W POLYCIDE WORD LINE CONTACT

Pa ,  k ,  S.W. 외 8명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Zr 원소 첨가에 따른 $TiSi_2$ 응집화 현상의 억제

윤상현 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

TiSi2 박막의 Agglomration 거동에 미치는 Si기판 의존성

김일권 ,  고종우 ,  이내인 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

W-Polycide Gate Etch 공정에 관한 연구 ( Development of W-Polycide Gate Etch Process )

신철호 ,  이정길 ,  안태혁 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

BF2 Dopant가 Titanium Polycide 형성에 미치는 영향 ( Effect of BF2 Dopant on the Formation of Ti-Polycide )

최진석 ,  백수현

전자공학회논문지-A

1991 .11

Ti-polycide gate의 gate oxide 신뢰성의 limitation 연구

이내인 ,  김영욱 ,  고종우 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Composite target으로 증착된 Ti-silicide의 형성에 관한 연구(I)

최진석 ,  강성건 ,  황유상 외 6명

한국재료학회지

1991 .01

TiN capping layer을 이용한 Titanium silicide 형성에 관한 연구

박종문 ,  나경일 ,  유성욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2012 .06

Ti-Si 계면의 얇은 산화막이 TiN/TiSi₂ 이중구조막 형성에 미치는 영향

李鐵眞 ,  成萬永 ,  成英權

전기학회논문지

1996 .02

Quartz/tungsten polycide 구조에서 발생되는 crack에 대한 연구

김지용 ,  오상헌 ,  이재갑 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Heavily doped Si에서 Ti 증착 온도가 $TiSi_2$ orientation 및 thermal instability 에 미치는 영향

박보현 ,  유상호 ,  조병진 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

통계적 실험 방법을 이용한 티타늄실리사이드의 열적안정성 연구

정성희 ,  송오성

한국재료학회지

2003 .01