A STUDY ON THE UNSTABILITY OF CONTACT RESISTANCE IN W(tungsten) POLYCIDE BIT LINE TO W POLYCIDE WORD LINE CONTACT

Pa ,  k ,  S.W. 외 8명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

RTP에 의한 W-Polycide막 특성

張宜久 ,  金昌日 ,  金泰亨 외 2명

전기학회논문지

1991 .11

W-Polycide Gate Etch 공정에 관한 연구 ( Development of W-Polycide Gate Etch Process )

신철호 ,  이정길 ,  안태혁 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

폴리사이드 형성 조건에 따른 WSi_x 박막 특성에 관한 연구

鄭陽喜 ,  姜聲俊 ,  金京元

전기학회논문지 C

2003 .09

BF₂ Dopant가 Titanium Polycide 형성에 미치는 영향

강성건 ,  황유상 ,  김동원 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

BF2 Dopant가 Titanium Polycide 형성에 미치는 영향 ( Effect of BF2 on the Formation of Ti-Polycide )

강성건 ,  황유상 ,  김동원 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Quartz/tungsten polycide 구조에서 발생되는 crack에 대한 연구

김지용 ,  오상헌 ,  이재갑 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

BF2 Dopant가 Titanium Polycide 형성에 미치는 영향 ( Effect of BF2 Dopant on the Formation of Ti-Polycide )

최진석 ,  백수현

전자공학회논문지-A

1991 .11

Emission Characteristics of Gated Mo-Polycide Field Emitter Arrays

우형수 ,  권상직 ,  박병국 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

TEM을 이용한 『Poly-Si/SiO₂/W Polycide』다층막의 특성평가

박대병 ,  구경완 ,  조성길 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

TEM을 이용한 Poly-Si / SiO2 / W Polycide 다층막의 특성평가 ( Evaluation of Poly-Si / SiO2 / W-Polycide Multi Layered Film Using Cross Sectional TEM )

박대병 ,  구경완 ,  조성길 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Ti-polycide gate의 gate oxide 신뢰성의 limitation 연구

이내인 ,  김영욱 ,  고종우 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

IDENTIFICATION AND CONTROL OF PERIPHERAL BASE CURRENTS IN ADVANCED SELF-ALIGNED POLYCIDE-EMITTER BIPOLAR TRANSISTORS

A. Chant ,  e ,  G. Festes 외 3명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

On Integrating a Polycide-ONO-Poly Capacitor into a 0.8㎛ Digital Technology for Mixed-Signal ASICs

Subhash R. Na ,  iani ,  Calvin T. Gab 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

TiSi2 박막의 응집기구와 sub-half micron Ti-polycide 배선의 전기저항

김영욱 ,  이내인 ,  고종우 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

폴리사이드 구조에서 dual 게이트 산화막에 대한 공정특성 연구 ( A Study on the process characteristics of polycide based dual gate oxidation )

엄금용 ,  노병규 ,  김종규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

폴리사이드 구조에서 dual 게이트 산화막에 대한 공정특성 연구

엄금용 ,  노병규 ,  김종규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

니켈 폴리사이드 게이트 전극 형성에 관한 연구

정연실 ,  김시중 ,  김주연 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

폴리사이드 구조에서의 게이트 산화막에 대한 공정특성 개선에 관한 연구 ( A Study on the Process Characteristics Approvement of Polycide Based Gate Electrode )

엄금용 ,  홍성표 ,  노병규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

폴리사이드 구조에서의 게이트 산화막에 대한 공정특성 개선에 관한 연구

엄금용 ,  홍성표 ,  노병규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11