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A STUDY ON THE UNSTABILITY OF CONTACT RESISTANCE IN W(tungsten) POLYCIDE BIT LINE TO W POLYCIDE WORD LINE CONTACT
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
An Improved Process for the Significant Reduction of Polycide-to-Polycide Contact Resistance
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1995 .01
RTP에 의한 W-Polycide막 특성
전기학회논문지
1991 .11
폴리사이드 형성 조건에 따른 WSix 박막 특성에 관한 연구
전기학회논문지 C
2003 .09
BF2 Dopant가 Titanium Polycide 형성에 미치는 영향
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
W-Polycide Gate Etch 공정에 관한 연구 ( Development of W-Polycide Gate Etch Process )
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
BF2 Dopant가 Titanium Polycide 형성에 미치는 영향 ( Effect of BF2 on the Formation of Ti-Polycide )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
BF2 Dopant가 Titanium Polycide 형성에 미치는 영향 ( Effect of BF2 Dopant on the Formation of Ti-Polycide )
전자공학회논문지-A
1991 .11
텅스텐 폴리사이드 전극에 따른 게이트 산화막의 내압 특성 ( Breakdown Characteristics of Gate Oxide with Tungsten Polycide Electrode )
전자공학회논문지-A
1996 .12
Emission Characteristics of Gated Mo-Polycide Field Emitter Arrays
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
TEM을 이용한 『Poly-Si/SiO₂/W Polycide』다층막의 특성평가
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
TEM을 이용한 Poly-Si / SiO2 / W Polycide 다층막의 특성평가 ( Evaluation of Poly-Si / SiO2 / W-Polycide Multi Layered Film Using Cross Sectional TEM )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
Ti-polycide gate의 gate oxide 신뢰성의 limitation 연구
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
IDENTIFICATION AND CONTROL OF PERIPHERAL BASE CURRENTS IN ADVANCED SELF-ALIGNED POLYCIDE-EMITTER BIPOLAR TRANSISTORS
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1989 .01
니켈 폴리사이드 게이트 전극 형성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
On Integrating a Polycide-ONO-Poly Capacitor into a 0.8㎛ Digital Technology for Mixed-Signal ASICs
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1993 .01
TiSi2 박막의 응집기구와 sub-half micron Ti-polycide 배선의 전기저항
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
코발트 폴리사이드 게이트 전극 형성
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
폴리사이드 구조에서 dual 게이트 산화막에 대한 공정특성 연구 ( A Study on the process characteristics of polycide based dual gate oxidation )
대한전자공학회 학술대회
1998 .07
폴리사이드 구조에서 dual 게이트 산화막에 대한 공정특성 연구
대한전자공학회 학술대회
1998 .06
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