대면적 디바이스 패턴에서 실 접촉 면적과 패드 벌크 변형을 고려한 평탄화 모델링

정선호; 김민지; 정해도

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정선호 (부산대학교) 김민지 (부산대학교) 정해도 (부산대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2022년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2022.5

수록면: 32 - 32 (1page)

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#Chemical mechanical planarization #Real contact area #Bulk deformation #Mathematical model

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