온도를 고려한 구리 패턴의 평탄화 CMP 모델

신영일; 박영욱; 정종민; 정선호; 정승훈; 정해도

추천

검색

질문

자료유형: 학술대회자료

저자정보: 신영일 (부산대학교) 박영욱 (부산대학교) 정종민 (부산대학교) 정선호 (부산대학교) 정승훈 (부산대학교) 정해도 (부산대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2023년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2023.5

수록면: 28 - 28 (1page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (3)

2024

평탄화 시간 예측을 위한 온도 함수를 고려한 구리 CMP 모델링

신영일 , 정승훈 , 정종민 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2024.06 학술대회자료

2023

온도를 고려한 구리 패턴의 평탄화 CMP 모델

신영일 , 박영욱 , 정종민 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2023.05 학술대회자료

2022

구리 CMP에서 온도 함수를 고려한 단차 감소 예측 모델링

신영일 , 박영욱 , 정종민 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2022.10 학술대회자료

이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
이 논문의 연구 히스토리 확인하기

초록· 키워드

오류제보하기

등록된 정보가 없습니다.

#Chemical mechanical planarization #Temperature #Copper model #Modeling

참고문헌 (0)

참고문헌 신청

참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

신영일

소속기관 부산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

논문수 13 이용수 1,127

박영욱

소속기관 한국생산기술연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 컴퓨터학

논문수 14 이용수 1,172

정종민

소속기관 부산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 기계공학

논문수 14 이용수 1,078

정선호

소속기관 부산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 1%

논문수 65 이용수 4,815

정승훈

소속기관 부산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 5 이용수 210

정해도

소속기관 부산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 1 이용수 37

이 논문과 함께 이용한 논문

구리 CMP에서 연마 온도가 제거 속도에 미치는 영향

신영일 , 정선호 , 박영욱 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2022 .05

CMP 온도 모니터링 시스템을 이용한 웨이퍼 면내 균일도 향상에 관한 연구

조호성 , 김형재 , 정해도 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2021 .05

Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향

박인호 , 이다솔 , 이종우 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2017 .05

냉각수가 정반 온도에 미치는 응답성

박인호 , 정해도 , 서현덕 외 2명 한국트라이볼로지학회 학술대회 2016 .04

최근 본 자료

전체보기

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

이 논문의 연구 히스토리 (3)

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (0)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)