마찰력 측정이 가능한 전기화학-기계적 평탄화(ECMP) 장치

남영현; 정승현; 이현섭

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 남영현 (동아대학교) 정승현 (동아대학교) 이현섭 (동아대학교)

저널정보: 한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2022년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2022.12

수록면: 462 - 462 (1page)

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