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김현진 (부산대학교) 박병준 (부산대학교) 이다솔 (부산대학교) 정선호 (부산대학교) 정해도 (부산대학교)
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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2018.5
수록면
34 - 34 (1page)

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2019

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김현진 기계공학부 2019.01 학위논문

2018

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김현진 ,  박병준 ,  이다솔 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018.05 학술대회자료

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#CMP(Chemical Mechanical Planarization) #Contact mode #Modeling #Pad asperity #Patterned oxide

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