10 nm 두께의 니켈 코발트 합금 박막으로부터 제조된니켈코발트 복합실리사이드의 미세구조 분석

송오성 ,  김상엽 ,  김종률

전기전자재료학회논문지

2007 .01

니켈 코발트 합금조성에 따른 복합실리사이드의 물성 연구

김상엽 ,  송오성

한국재료학회지

2007 .01

Study of Thermal Stability of Ni Silicide using Ni-V Alloy

Zhun Zhong ,  Soon-Young Oh ,  Won-Jae Lee 외 7명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2008 .01

나노급 CMOSFET을 위한 니켈-코발트 합금을 이용한니켈-실리사이드의 열안정성 개선

박기영 ,  정순연 ,  한인식 외 6명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

희토류 금속을 이용한 니켈 실리사이드의 전기 및 물리적 특성

이원재 ,  김도우 ,  김용진 외 2명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

코발트/니켈 적층구조 박막으로부터 형성된 복합실리사이드

송오성 ,  정성희 ,  김득중 외 1명

한국재료학회지

2004 .01

100㎚ 이하의 CMOS 소자를 위한 Ni Silicide Technology

이헌진 ,  지희환 ,  배미숙 외 6명

대한전자공학회 학술대회

2002 .06

Formation Temperature Dependence of Thermal Stability of Nickel Silicide with Ni-V Alloy for Nanoscale MOSFETs

A. Tuya ,  S. Y. Oh ,  J. G. Yun 외 6명

대한전자공학회 학술대회

2005 .11

다결정 실리콘 기판 위에 형성된 나노급 니켈 코발트 복합살리사이드의 미세구조 분석

송오성

한국산학기술학회 논문지

2007 .04

폴리실리콘 기판 위에 형성된 코발트 니켈 복합실리사이드 박막의 열처리 온도에 따른 물성과 미세구조변화

김상엽 ,  송오성

한국재료학회지

2006 .01

Cobalt Interlayer 와 TiN capping를 갖는 새로운 구조의 Ni-Silicide 및 Nano CMOS에의 응용

오순영 ,  윤장근 ,  박영호 외 4명

전자공학회논문지-SD

2003 .12

나노급 CMOSFET을 위한 Boron Cluster(B18H22)가 이온 주입된(SOI 및 Bulk)기판에 Ni-V합금을 이용한 Ni-silicide의열안정성 개선

이세광 ,  이원재 ,  장잉잉 외 5명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

고효율 태양전지의 저가화를 위한 Ni/Cu/Ag 전극의 Ni Silicide 형성에 관한 연구

김종민 ,  조경연 ,  이지훈 외 1명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2009 .04

코발트/니켈 복합실리사이드의 실리사이드온도에 따른 면저항과 미세구조 변화

정영순 ,  정성희 ,  송오성

한국재료학회지

2004 .01

Ni/Co/Ni를 적용한 Ni germano-silicide의 열 안정성 개선

황빈봉 ,  지희환 ,  오순영 외 6명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07

Nano CMOS를 위한 Ni-silicide의 source/drain의 As, BF₂에 따른 영향분석

배미숙 ,  지희환 ,  이헌진 외 5명

대한전자공학회 학술대회

2002 .11

니켈 실리사이드의 열안정성에 대한 실리카 상부막과 코발트 중간막의 영향

한길진 ,  조유정 ,  김영철 외 4명

반도체및디스플레이장비학회지

2005 .01

게이트를 상정한 니켈 실리사이드 박막의 물성과 미세구조 변화

정영순 ,  송오성 ,  김상엽 외 2명

한국재료학회지

2005 .01

나노급 Ir 삽입 니켈실리사이드의 미세구조 분석

송오성 ,  윤기정 ,  이태헌 외 1명

한국재료학회지

2007 .01

Nano CMOS 소자를 위한 Ni-silicide의 Dopant 의존성 분석

배미숙 ,  지희환 ,  이헌진 외 5명

전자공학회논문지-SD

2003 .11