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대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 제18권 2호
발행연도
1995.11
수록면
531 - 534 (4page)

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1995

BPSG 공정조건을 고려한 P+-N 박막 접합 형성에 관한 연구
이우철 ,  한명석 ,  홍신남 대한전자공학회 학술대회 1995.12 학술대회자료
BPSG공정조건을 고려한 P+ -N 박막 접합 형성에 관한 연구 ( A Study on the Formation of Shallow P+ -N Junctions including the BPSG Thermal Process )
이우철 ,  홍신남 ,  한명석 대한전자공학회 학술대회 1995.11 학술대회자료

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