APCVD에 의한 BPSG 막질특성에 관한 연구 ( A Study on Charecteristics of Borophosphosilicate Glass Deposited by Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition )

김의송 ,  이철진 ,  류지효 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

ISPM 및 PBMS를 이용한 BPSG 및 PSG CVD 공정 중발생하는 오염입자의 실시간 측정

나정길

PARTICLE AND AEROSOL RESEARCH

2010 .01

The Effects of Sandwich-like Catalyst Thickness on the Vertical Growth of Carbon Nanotubes Using APCVD

Hyeong Keun Kim ,  Chee Sung Lee ,  Jae Boong Choi 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

BPSG 상에 화학증착된 구리박막의 후열처리에 의한 특성변화

전치훈 ,  김윤태 ,  백종태 외 2명

한국재료학회지

1996 .01

BPSG공정조건을 고려한 P+ -N 박막 접합 형성에 관한 연구 ( A Study on the Formation of Shallow P+ -N Junctions including the BPSG Thermal Process )

이우철 ,  홍신남 ,  한명석

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

Wet cleaning 공정 시 DI water 의 온도에 따른 BPSG 막질의 특성 변화에 대한 연구

장재규 ,  이공수 ,  윤민상 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

$O_{3}$/TEOS를 이용한 후막 Si$O_{2}$의 성장 특성

이우형 ,  김현수 ,  유지범

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

RTA에 의한 BPSG막의 REFLOW특성 ( A Study on the Reflow Characteristics of BPSG Film by Rapid Thermal Anneal )

이철진 ,  성영권 ,  안용철 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

서브마이크론 CMOS DRAM의 소자 특성에 대한 BPSG Flow 열처리 영향

이상규 ,  김정태 ,  고철기

한국재료학회지

1991 .01

New vapor-phase deposited polymer films by initiated chemical vapor deposition and their bio-device applications

임성갑

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .10

SnO₂ 박막증착을 위한 APCVD Reactor 내 유량 균일도 향상에 대한 수치 해석적 연구

박준우 ,  윤익로 ,  정하승 외 3명

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2010 .05

상압 플라즈마를 이용한 무기박막의 화학기상 증착법에 대한 연구동향

김경남 ,  이승민 ,  염근영

한국표면공학회지

2015 .10

PROPERTIES OF THE CVD-Cu FULMS ON $SiO_2$ AND BPSG SUBSTRATES

Lee ,  Chong-Mu ,  Han 외 1명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

Low Pressure Chemical Vapor Deposition 공정에서 복사열전달 및 물질전달 ( Analysis of Heat and Mass Transfer during Multi-Wafer Low Pressure Chemical Vapor Deposition Process )

박경순 ,  최만수 ,  조형주

대한기계학회 춘추학술대회

1998 .01

Modeling of Low Pressure Chemical Vapor Deposition of Polysilicon

In Chae Song

KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING

1995 .01