산화막과 금속박막 계면에서의 adhesion 개선을 위한 열처리

김응수

대한전자공학회 학술대회

2002 .06

산화막/금속 구조에서 후속열처리에 의한 산화막의 손상

박형호 ,  강동규 ,  조경익 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

LPCVD-Si₃N₄ 박막의 열 산화

고재석 ,  구경완 ,  조동율 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

BPSG 상에 화학증착된 구리박막의 후열처리에 의한 특성변화

전치훈 ,  김윤태 ,  백종태 외 2명

한국재료학회지

1996 .01

열처리 후 가해진 스트레스가 산화막 누설전류에 미치는 영향 ( Effects of re-stress after anneal on oxide leakage )

이재호 ,  김병일 ,  신봉조 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .11

RTA에 의한 BPSG막의 REFLOW특성 ( A Study on the Reflow Characteristics of BPSG Film by Rapid Thermal Anneal )

이철진 ,  성영권 ,  안용철 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

금속 알루미늄 산화막 생성을 위한 고속 양극산화 공정 개발

정명진

대한기계학회 춘추학술대회

2013 .03

열CVD방법으로 증착시킨 탄탈륨 산화박막의 특성평가와 열처리 효과

남갑진 ,  박상규 ,  이영백 외 1명

한국재료학회지

1995 .01

산화인듐아연 박막에 대한 급속 열처리 효과

김원 ,  방정환 ,  엄현석 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2009 .07

금속박막증착 ( Metal thin film deposition ) 시 두께 조절

장지근

대한전자공학회 심포지엄 논문집

1978 .01

RF 마그네트론 스퍼터로 증착된 InO 박막의 질소분위기 열처리에 따른 특성변화

공영민 ,  이영진 ,  허성보 외 4명

한국재료학회지

2012 .01

BPSG공정조건을 고려한 P+ -N 박막 접합 형성에 관한 연구 ( A Study on the Formation of Shallow P+ -N Junctions including the BPSG Thermal Process )

이우철 ,  홍신남 ,  한명석

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

증착속도에 따른 금속박막의 구조 변화에 관한 연구 ( A Study on the Change of Structure of Metal Thin Film for Evaporation Rate )

조현춘 ,  백수현

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

APCVD를 이용한 SnO₂박막 증착에 대한 실험 및 수치 해석적 연구

박준우 ,  김형준 ,  김병국 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2013 .05

Indium Zinc Oxide 박막 특성에 대한 O 농도와 열처리 온도의 영향

조한나 ,  리유에롱 ,  민수련 외 1명

공업화학

2006 .01

금속박막증착시 두께 조절 ( Metal thin film deposition thickness control )

장지근

대한전자공학회 학술대회

1978 .01

구리 금속선의 산화 방지를 위한 알루미늄 박막의 산화 방지 특성 ( Characteristics of the aluminum thin films for the prevention of copper oxidation )

이경일 ,  민경익 ,  주승기 외 2명

전자공학회논문지-A

1994 .10