메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국입자에어로졸학회 PARTICLE AND AEROSOL RESEARCH PARTICLE AND AEROSOL RESEARCH 제6권 제3호
발행연도
2010.1
수록면
139 - 145 (7page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

BPSG 및 PSG CVD 공정 중 발생하는 오염입자 발생특성
나정길 ,  문지훈 ,  최후미 외 9명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료
ISPM 및 PBMS를 이용한 BPSG 및 PSG CVD 공정 중발생하는 오염입자의 실시간 측정
나정길 PARTICLE AND AEROSOL RESEARCH 2010.01 학술저널

초록· 키워드

오류제보하기
In this study, we investigated the particle formation during the deposition of borophosphosilicate glass (BPSG) and phosphosilicate glass (PSG) films in thermal chemical vapor deposition reactor using in-situ particle monitor (ISPM)and particle beam mass spectrometer (PBMS) which installed in the reactor exhaust line. The particle current and number count are monitored at set-up, stabilize, deposition, purge and pumping process step in real-time. The particle number distribution at stabilize step was measured using PBMS and compared with SEM image data. The PBMS and SEM analysis data shows the 110 nm and 80 nm of mode diameter for BPSG and PSG process, respectively.
#PBMS #particle beam mass spectrometer) #ISPM #in-situ particle monitor) #BPSG #borophosphosilicate glass) #PSG #phosphosilicate glass)

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (15)

참고문헌 신청
Armstrong, W. E. / 1974 / A Scanning Electron Microscope Investigation of Glass Flow in MOS Integrated Circuit Fabrication / J. Electrochem. Soc 121 : 307 ~ 310 google schola Bowing, R. A / 1985 / Deposition and reflow of phosphosilicate glass / J. Electrochem. Soc 132 : 141 ~ 145 google schola Bowling, R. A. / 1989 / Status and Needs of In-Situ Real-time Process Particle Detection / J. Environ. Sci 32 : 22 ~ 27 google schola Campbell, S. / 1998 / Investigation of particle formation during the plasma enhanced chemical vapor deposition of amorphous silicon, oxide, and nitride films / J. Vac. Sci. google schola Dance, D. L. / 1992 / Reducing Process Equipment Cost of Ownership Through In Situ Contamination Prevention and Reduction / Microcontamination 10 : 21 ~ 27 google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0