BPSG공정조건을 고려한 P+ -N 박막 접합 형성에 관한 연구 ( A Study on the Formation of Shallow P+ -N Junctions including the BPSG Thermal Process )

이우철 ,  홍신남 ,  한명석

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

Wet cleaning 공정 시 DI water 의 온도에 따른 BPSG 막질의 특성 변화에 대한 연구

장재규 ,  이공수 ,  윤민상 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

RTA에 의한 BPSG막의 REFLOW특성 ( A Study on the Reflow Characteristics of BPSG Film by Rapid Thermal Anneal )

이철진 ,  성영권 ,  안용철 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

서브마이크론 CMOS DRAM의 소자 특성에 대한 BPSG Flow 열처리 영향

이상규 ,  김정태 ,  고철기

한국재료학회지

1991 .01

BPSG 상에 화학증착된 구리박막의 후열처리에 의한 특성변화

전치훈 ,  김윤태 ,  백종태 외 2명

한국재료학회지

1996 .01

투과전자현미경을 이용한 $n^+$/p 접합에서 불순물의 이차원적 분포에 관한 연구

Pa ,  k ,  Chel-Jong 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

6H-SiC P^(+)n 접합의 항복 전압을 위한 해석적 모형 ( Analytical Model of Breakdown Voltages for 6H-SiC p^(+)n Junction )

정용성

전자공학회논문지-SD

2001 .06

솔더접합부 접합구조에 따른 열사이클 시험 예측

권용혁 ,  박세민 ,  방희선 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

동시 접합 공정에 의한 자기정렬 코발트 실리사이드 및 얇은 접합 형성에 관한 연구 ( A Study on the Self-Aligned Cobalt Silicidation and Formation of a Shallow Junction by Concurrent Junction Process )

이석운 ,  민경익 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1992 .02

RTA 후 FA 공정을 포함한 P⁺-n 박막 접합 특성

한명석 ,  김재영 ,  이충근 외 1명

전자공학회논문지-SD

2002 .05

다중 적층형 박막 실리콘 태양 전지의 터널 접합 특성 연구

황선태 ,  심현자 ,  정진원 외 2명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2010 .06

커패시턴스 측정을 통한 부정형 접합을 갖는 pn 접합의 유효 접합 면적 및 반송자 수명의 추출

조성재 ,  김상완 ,  손영환 외 4명

대한전자공학회 학술대회

2009 .07

자동차 정션박스의 열성능 개선을 위한 연구

이영림

한국자동차공학회논문집

2008 .03

n+ -p접합에서 위치함수인 유전율을 고려한 경우 접합깊이가 전하밀도에 미치는 영향 ( The Effect of Junction Depth on the Carge Density in n+ -p junction with Consideration of Position dependent Dielectric Constant )

김충원 ,  한백형

전자공학회논문지

1987 .03

커패시턴스 측정을 통한 부정형 접합을 갖는 pn 접합의 유효 접합 면적 및 반송자 수명의 추출

조성재 ,  김상완 ,  손영환 외 4명

대한전자공학회 학술대회

2009 .07

EFFECTS OF PLASMA TREATMENTS ON THE EROSION OF TEIS-BPSG FILMS BY CHEMICAL ETCHANTS

Lee ,  Chong-Mu ,  Lee 외 1명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

박막 접합 형성을 위한 열처리 방법에 관한 연구

한명석 ,  김재영 ,  이충근 외 1명

전자공학회논문지-IE

2002 .03