Wet cleaning 공정 시 DI water 의 온도에 따른 BPSG 막질의 특성 변화에 대한 연구

장재규; 이공수; 윤민상; 안정수

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저자정보: 장재규 (삼성공과대학교) 이공수 (삼성반도체) 윤민상 (삼성반도체) 안정수

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2010년도 춘계학술대회 논문집(상)

발행연도: 2010.5

수록면: 533 - 534 (2page)

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