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나정길 (성균관대학교) 문지훈 (성균관대학교) 최후미 (성균관대학교) 김태성 (성균관대학교) 최재붕 (성균관대학교) 임성규 (나노종합팹센터) 박상현 (나노종합팹센터) 이헌정 (삼성전자) 고용균 (삼성전자) 이상미 (삼성전자) 윤주영 (한국표준과학연구원) 강상우 (한국표준과학연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.2
수록면
261 - 261 (1page)

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2010

BPSG 및 PSG CVD 공정 중 발생하는 오염입자 발생특성
나정길 ,  문지훈 ,  최후미 외 9명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료
ISPM 및 PBMS를 이용한 BPSG 및 PSG CVD 공정 중발생하는 오염입자의 실시간 측정
나정길 PARTICLE AND AEROSOL RESEARCH 2010.01 학술저널

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나정길 ,  김태성 ,  최재붕 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009 .08

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