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$O_3/HMDS$ APCVD를 이용한 후막 $SiO_2$ 성장특성연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
이온 샤우어 도핑을 이용한 자기정렬방식의 APCVD 비정질 실리콘 박막 트랜지스터의 제작 ( Fabrication of self aligned APCVD a - Si TFT by using ion shower doping method )
전자공학회논문지-A
1995 .01
APCVD 를 이용한 SiGe 베이스 이종 접합 바이폴라 소자 제작 및 특성 분석 ( Fabrication and Characteristics of the SiGe Base Heterojunction Bipolar Transistors using APCVD )
전자공학회논문지-A
1994 .11
COMPUTER SIMULATION STUDY ON APCVD PROCESS FOR AMORPHOUS SiC THIN FILM ON THE SILICON WAFER
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1989 .01
저온공정 실리콘 산화막의 질소 패시베이션 효과
전기전자재료학회논문지
2006 .01
기판 막질에 따른 $TEOS-O_3$ 산화막의 증착 특성
한국재료학회지
1992 .01
The Effects of Sandwich-like Catalyst Thickness on the Vertical Growth of Carbon Nanotubes Using APCVD
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
Polishing Mechanism of TEOS-CMP with High-temperature Slurry by Surface Analysis
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2005 .01
다양한 기울기를 갖는 TEOS 필드 산화막의 경사식각
전기전자재료학회논문지
2002 .01
APCVD법을 이용한 박막 태양전지용 SnO_2:F 투명전극 특성 연구
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2009 .06
$PEBAX^{TM}$/TEOS 하이브리드 분리막을 통한 이산화탄소와 메탄의 기체투과특성
화학공학
2011 .01
A Study on Physical Characteristies of Boron Phosphide using APCVD
ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications
2006 .06
TEOS 를 사용한 UV 경화성 수지의 물성 개선
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .10
SnO2 박막증착을 위한 APCVD Reactor 내 유량 균일도 향상에 대한 수치 해석적 연구
한국전산유체공학회 학술대회논문집
2010 .05
수소 / 산소 / TEOS 확산화염 중 직접포집을 이용한 실리카 입자의 성장특성에 관한 연구 ( Growth Characteristics of Silica Particles Using In Situ Sampling from H2 / O2 / TEOS Difusion Flame )
대한기계학회 춘추학술대회
2000 .01
고분자 전해질형 연료전지를 위한 TEOS가 함유된 술폰화 폴리아릴렌에테르술폰 복합막의 제조 및 특성
멤브레인
2010 .01
STFT와 TEO를 이용한 전기철도 전력품질 분석기법에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
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