낮은 GWP의 플루오로카본 전구체를 이용한 SiO₂, Si₃N₄ 원자층 식각공정

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저자정보: 이동기 (충남대학교) 이영석 (충남대학교) 김시준 (충남대학교) 성인호 (충남대학교) 조철희 (충남대학교) 정원녕 (충남대학교) 최병엽 (충남대학교) 최민수 (충남대학교) 이우빈 (충남대학교) 서성현 (충남대학교) 유신재 (충남대학교)

이용수

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#Global warming potential (GWP) #Atomic layer etching (ALE) #Plasma

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