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낮은 GWP의 플루오로카본 전구체를 이용한 SiO₂, Si₃N₄ 원자층 식각공정
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
HARC 식각 공정의 OES 신호를 활용한 규칙 기반의 식각 종료점 감지 알고리즘
대한전자공학회 학술대회
2022 .04
High Polymeric HFC 이용, HARC 공정에서의 고 선택비 식각 공정 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .12
[인터뷰 ➋] 코플랜드 독립법인 출범… 한국코플랜드(주) 콜드체인사업부 동북아 담당 곽병권 상무_“앞으로 탈탄소 위해 Low GWP에서 GWP 0나 자연냉매로의 전환 필요하다
냉동공조저널
2023 .07
Low GWP 가스 저온 ICP 식각 공정 표면 분석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
코로나 방전 플라즈마에 의한 NOx제거에서 NaOH 수용액의 영향
전기전자재료학회논문지
2023 .03
저온 폴리실리콘 공정(LTPS)에 적용가능한 낮은 GWP 가스를 사용하는 컨택홀 반응성 이온 식각
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
Low GWP 냉매 동향
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2023 .11
Low GWP 냉매 적용 동향
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2018 .11
Generation and Applications of Radicals and Ions with Plasmas in Etching Processes of Semiconductor Device Fabrication
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
Low GWP 대체냉매 적용 냉동시스템의 안전성 평가 사례
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2016 .11
Low GWP 냉매 관련 기술 동향
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .11
Zero-GWP 공기 냉매 냉방/냉동 성능 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
R410A 대체 냉매 후보의 성능 평가
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2020 .06
Nano-Scaled Fluorocarbon-Based Trilayer Thin Film for Effective Energy Conservation Techniques
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2022 .10
Low GWP 대체냉매의 히트펌프 적용 성능평가
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2016 .11
Low GWP 냉매의 사용에 따른 안전규격 개정과 최근 안전성 평가 사례
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2017 .11
An Update on Low-GWP Refrigerants
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2021 .06
Low GWP 냉매를 적용한 VRF 히트펌프 시스템의 실증운전결과 분석
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2024 .11
Controlled Surface Structure of Fluorocarbon Thin Films Deposited on Soft Elastic Substrates by changing its Viscoelasticity
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .04
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