Optimization of Plasma Atomic Layer Etch Process for Silicon Carbide

K. I. Lee ,  Y. S. Choi

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

Chrome Web Browser의 Chrome Extension을 활용한 웹 시스템 개발

조규철 ,  하진욱 ,  류성민

한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집

2017 .07

타원계측장치를 이용한 실시간 원자층 식각률 모니터링에서 기판 온도의 영향

이영석 ,  이장재 ,  이상호 외 4명

반도체디스플레이기술학회지

2019 .01

Cl₂/Ar 이온빔을 이용한 InGaAs 원자층식각 연구

박진우 ,  김경남 ,  윤덕현 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

Area-Selective Atomic Layer Deposition and Atomic Layer Etching for 3-D Nano-Patterning Processes

김우희 ,  Stacey F. Bent

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

다중 레이저 기반 원자층 분해능 가공 및 진단

노윤수

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .12

A review : atomic layer etching of metals

Yun Jong Jang ,  Hong Seong Gil ,  Gyoung Chan Kim 외 6명

한국표면공학회지

2024 .06

The Application of AFM (Atomic Force Microscopy) in Biomaterials

정유진

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .10

원자현미경(AFM)을 이용한 리튬이온 이차전지 소재 분석

오정연 ,  엄태식

고분자 과학과 기술

2022 .10

이온빔을 이용한 Black Phosphorus 식각 연구

김두산 ,  이원오 ,  박진우 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

Surface Etching of TiO2 Thin Films Using High Density Cl2/Ar Plasma

우종창 ,  김창일 ,  주영희

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2015 .01

Generation and Applications of Radicals and Ions with Plasmas in Etching Processes of Semiconductor Device Fabrication

Heeyeop Chae ,  Yongjae Kim

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

낮은 GWP의 플루오로카본 전구체를 이용한 SiO₂, Si₃N₄ 원자층 식각공정

이동기 ,  이영석 ,  김시준 외 8명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2024 .10

Atomic-layer transfer process for 2D material based electronics

Houk Jang ,  Jong-Hyun Ahn

ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications

2015 .06

연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발

이재혁 ,  최형종 ,  한권덕 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

AFM의 정확도 향상을 위한 비선형성 제거법

노수우 ,  윤여민 ,  박기환

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

열 원자층 식각법을 이용한 박막 재료 식각 연구

조현희 ,  이서현 ,  윤은서 외 5명

한국분말야금학회지

2023 .02

원자층 증착법을 이용한 리튬티타늄산화물의 고온 전기화학 특성 향상기구 규명

남승훈 ,  박형상 ,  현승민

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2018 .10