건식 식각 공정 쿼츠의 제작방식에 따른 부품 식각에 관한 연구

임동민 ,  유준현 ,  이종화

대한전자공학회 학술대회

2021 .11

유기 킬레이터 물질의 고밀도 플라즈마를 이용한 구리 박막의 나노미터 스케일 식각

이지수 ,  임은택 ,  차문환 외 2명

전기전자재료학회논문지

2021 .01

모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화

유승기 ,  김재경 ,  전의식

한국기계기술학회지

2015 .01

유도 결합 플라즈마를 이용한 Fence free Ta₂O₅ 박막 식각에 관한 연구

허상욱 ,  김관하

대한전기학회 학술대회 논문집

2021 .10

Inductively Coupled Plasma를 이용한 SnO 박막의 식각 특성 연구

김수곤 ,  박병옥 ,  이준형 외 2명

한국표면공학회지

2016 .02

나노 반도체 소자를 위한 펄스 플라즈마 식각 기술

양경채 ,  박성우 ,  신태호 외 1명

한국표면공학회지

2015 .12

이방성 에칭 첨가제 기술로 제작된 인쇄회로 열교환기의 성능 평가

김보겸 ,  류진우 ,  홍오원 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

Development of apparatus for Single-sided Wet Etching and its applications in Corrugated Membrane Fabrication

김준수 ,  문원규

센서학회지

2021 .01

Optimization of Etching Profile in Deep-Reactive-Ion Etching for MEMS Processes of Sensors

양정모 ,  김희연 ,  박재홍

센서학회지

2015 .01

패터닝한 구리층을 이용한 전해에칭 공정에서의 형상 변화에 관한 연구

신홍식 ,  이지승

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

깊은 전해에칭에서의 형상 변화 연구

신홍식 ,  박혜준

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

구리 보호층을 이용한 전해에칭에서의 다층구조 제작

신홍식

한국기계가공학회지

2019 .02

High aspect ratio silicon etching based on Metal-Assisted Chemical Etching process

Seung Deok Kim ,  Maeum Han ,  Jae Yong Lee 외 6명

대한전자공학회 학술대회

2023 .06

광 포획 향상을 위한 다중 아키텍처 식각 기술을 적용한 박막 실리콘 태양전지에 관한 연구

박형식 ,  이준신

전기전자재료학회논문지

2024 .05

ICP Poly Etcher를 이용한 Poly-Si Dry Etch시 Gas Flow에 따른 Etching 특성 변화 연구

김동일 ,  한승수

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

Use of Hard Mask for Finer (<10 μm) Through Silicon Vias (TSVs) Etching

홍상진 ,  최소망

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2015 .01

Etch Mechanism of AlN Thin Film in Cl2/Ar Inductively Coupled Plasma

우종창 ,  김동표 ,  김관하

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2022 .10

포커스 링 재질과 구조 차이에 따른 식각률 분석을 통한 건식 식각 장비 사용 주기 연장 연구

김성유 ,  최현선 ,  양민호

대한전자공학회 학술대회

2021 .11

Hydrogen-Induced Damage During the Plasma Etching Process

윤준호 ,  이정윤 ,  유원종

NANO

2017 .01